一种在不透明基底上制备微结构的方法

    公开(公告)号:CN109188869A

    公开(公告)日:2019-01-11

    申请号:CN201811147993.X

    申请日:2018-09-29

    IPC分类号: G03F7/20

    摘要: 本发明涉及一种在不透明基底上制备微结构的方法,该方法引入螺旋塔图案,该螺旋塔图案为由标示连续排列成的阵列,该阵列在水平面的投影中,由左向右横向排列n个标示后,朝上竖向排列n个标示,接着由右向左横向排列n个标示,然后向下竖向排列n-1个标示…依次循环而构成回形图,各相邻标示在水平投影上的间距均为a,且各标示分别比按排列顺序位于其前面的标示竖向上升高度b,其中5≤n≤8,从而能在不同高度尝试刻写,进而找到合适的焦点起始位置,继而能实现在不透明基底上的准确光刻。本发明加工速度快,精度高,灵活性强,可在不透明基底上制备各种微结构,且制备过程简单易操作。

    一种在不透明基底上制备微结构的方法

    公开(公告)号:CN109188869B

    公开(公告)日:2020-08-28

    申请号:CN201811147993.X

    申请日:2018-09-29

    IPC分类号: G03F7/20

    摘要: 本发明涉及一种在不透明基底上制备微结构的方法,该方法引入螺旋塔图案,该螺旋塔图案为标示连续排列成的阵列,该阵列在水平面的投影中,由左向右横向排列n个标示后,朝上竖向排列n个标示,接着由右向左横向排列n个标示,然后向下竖向排列n‑1个标示…依次循环而构成回形图,各相邻标示在水平投影上的间距均为a,且各标示分别比按排列顺序位于其前面的标示竖向上升高度b,其中5≤n≤8,从而能在不同高度尝试刻写,进而找到合适的焦点起始位置,继而能实现在不透明基底上的准确光刻。本发明加工速度快,精度高,灵活性强,可在不透明基底上制备各种微结构,且制备过程简单易操作。

    一种微电容的制备方法
    3.
    发明授权

    公开(公告)号:CN108231436B

    公开(公告)日:2020-02-07

    申请号:CN201711495041.2

    申请日:2017-12-31

    申请人: 宁波大学

    IPC分类号: H01G13/00

    摘要: 本发明涉及一种微电容制备方法,其包括以下步骤:(1)设计微电容结构以及相应的挡膜图案,同时将该挡膜图案导入微加工平台的电脑中;(2)制作待刻样品,将该样品放置于微加工平台的待光刻处,并进行负性光刻;(3)对加工好的上述样品进行一次清洗,以去除没有固化的光刻胶;(4)对一次清洗后的上述样品进行封装,并进行一次镀膜;(5)对一次镀膜后的样品进行二次清洗,以去除硬化后的光刻胶挡膜图案,即得微电容图案;(6)在上述获得的微电容图案上制作引线。与现有的微电容的制备方法相比,本发明无需制备特定的掩膜版,制作简单,制作周期短,制作成本低,并且采用飞秒激光双光子3D直写挡膜图案,使得微电容的尺寸灵活可变。

    一种晶体上转换发光特性测量装置及测量方法

    公开(公告)号:CN106770140A

    公开(公告)日:2017-05-31

    申请号:CN201710089896.9

    申请日:2017-02-20

    申请人: 宁波大学

    IPC分类号: G01N21/64

    CPC分类号: G01N21/6402 G01N21/645

    摘要: 本发明涉及一种晶体上转换发光特性测量装置,其包括激发光路、样品台、光谱仪以及计算机;样品台呈圆盘状并可在驱动装置驱动下绕其自身中心轴旋转,该样品台上设置有至少两个用于放置样品的样品位,且各样品位均布在样品台上并位于同一个以样品台的中心为圆心的圆上;激发光路包括激光器、偏振片以及透镜,激光器的出射激光通过偏振片的正中心后垂直照射在透镜的正中心,从而聚焦在样品台的其中一个样品上;还涉及一种晶体上转换发光特性测量方法。本发明中的装置可以快速测量多个晶体样品的上转换发光特性,从而提高了测量效率,并且测量稳定性高,测量结果可靠性好。

    一种玻璃毛细管中加工微结构的变形矫正方法

    公开(公告)号:CN108319113A

    公开(公告)日:2018-07-24

    申请号:CN201810095324.6

    申请日:2018-01-31

    申请人: 宁波大学

    IPC分类号: G03F7/20 G06F17/50

    摘要: 本发明涉及一种玻璃毛细管中加工微结构的变形矫正方法:(1)设计待制备的微结构的形状和尺寸;(2)通过仿真软件对设计的微结构进行实际建模并仿真;(3)相应的补偿变化,根据变形趋势将待制备的微结构中沿毛细管径向方向的线条进行相应的补偿变化,得出矫正后的线条尺寸并将其代入待制备的微结构中;(4)打开飞秒激光器,将飞秒激光器锁模后导入到微加工工作台中,进行对焦;(5)完成对焦后,进行光刻。本发明能矫正毛细管中制备微结构视场上所发生的变形现象,矫正了在毛细管加工微结构视场上产生的变形误差,矫正方法简单有效,易操作,实现了在玻璃毛细管中精确地制备各种所需的微结构,扩大了毛细管的应用领域。

    一种微电容的制备方法
    6.
    发明公开

    公开(公告)号:CN108231436A

    公开(公告)日:2018-06-29

    申请号:CN201711495041.2

    申请日:2017-12-31

    申请人: 宁波大学

    IPC分类号: H01G13/00

    摘要: 本发明涉及一种微电容制备方法,其包括以下步骤:(1)设计微电容结构以及相应的挡膜图案,同时将该挡膜图案导入微加工平台的电脑中;(2)制作待刻样品,将该样品放置于微加工平台的待光刻处,并进行负性光刻;(3)对加工好的上述样品进行一次清洗,以去除没有固化的光刻胶;(4)对一次清洗后的上述样品进行封装,并进行一次镀膜;(5)对一次镀膜后的样品进行二次清洗,以去除硬化后的光刻胶挡膜图案,即得微电容图案;(6)在上述获得的微电容图案上制作引线。与现有的微电容的制备方法相比,本发明无需制备特定的掩膜版,制作简单,制作周期短,制作成本低,并且采用飞秒激光双光子3D直写挡膜图案,使得微电容的尺寸灵活可变。

    一种3D微结构观测装置及其观测方法

    公开(公告)号:CN108593648B

    公开(公告)日:2024-05-24

    申请号:CN201810525696.8

    申请日:2018-05-28

    申请人: 宁波大学

    摘要: 本发明涉及一种3D微结构观测装置,包括显微镜本体,所述镜本体包括观测组件、调焦组件、载物台以及能驱动所述台进行动的载物台调节组件。还包括控制电路板以及用于带动载有微结构的载玻片进行转动运动的位置调节机构,位置调节机构设置在所述载物台上,位置调节机构包括用于固定载玻片的支撑组件以及驱动支撑组件相对于载物台进行转动的驱动组件,驱动组件与控制电路板电连接。本发明还涉及3D微结构观测装置的观测方法,首选对微结构的分布区域进行标记,然后利用显微镜本体寻找到标记以确定微结构的大概位置,进而再进行微调而实现观测,位置调节机构带动载玻片进行转动,进而获得微结构不同角度位置的图像,最终获取微结构的3D图像。

    一种玻璃毛细管中加工微结构的变形矫正方法

    公开(公告)号:CN108319113B

    公开(公告)日:2021-01-08

    申请号:CN201810095324.6

    申请日:2018-01-31

    申请人: 宁波大学

    摘要: 本发明涉及一种玻璃毛细管中加工微结构的变形矫正方法:(1)设计待制备的微结构的形状和尺寸;(2)通过仿真软件对设计的微结构进行实际建模并仿真;(3)相应的补偿变化,根据变形趋势将待制备的微结构中沿毛细管径向方向的线条进行相应的补偿变化,得出矫正后的线条尺寸并将其代入待制备的微结构中;(4)打开飞秒激光器,将飞秒激光器锁模后导入到微加工工作台中,进行对焦;(5)完成对焦后,进行光刻。本发明能矫正毛细管中制备微结构视场上所发生的变形现象,矫正了在毛细管加工微结构视场上产生的变形误差,矫正方法简单有效,易操作,实现了在玻璃毛细管中精确地制备各种所需的微结构,扩大了毛细管的应用领域。

    一种3D微结构观测装置及其观测方法

    公开(公告)号:CN108593648A

    公开(公告)日:2018-09-28

    申请号:CN201810525696.8

    申请日:2018-05-28

    申请人: 宁波大学

    摘要: 本发明涉及一种3D微结构观测装置,包括显微镜本体,所述镜本体包括观测组件、调焦组件、载物台以及能驱动所述台进行动的载物台调节组件。还包括控制电路板以及用于带动载有微结构的载玻片进行转动运动的位置调节机构,位置调节机构设置在所述载物台上,位置调节机构包括用于固定载玻片的支撑组件以及驱动支撑组件相对于载物台进行转动的驱动组件,驱动组件与控制电路板电连接。本发明还涉及3D微结构观测装置的观测方法,首选对微结构的分布区域进行标记,然后利用显微镜本体寻找到标记以确定微结构的大概位置,进而再进行微调而实现观测,位置调节机构带动载玻片进行转动,进而获得微结构不同角度位置的图像,最终获取微结构的3D图像。

    一种3D显微镜
    10.
    实用新型

    公开(公告)号:CN208459680U

    公开(公告)日:2019-02-01

    申请号:CN201820805917.2

    申请日:2018-05-28

    申请人: 宁波大学

    IPC分类号: G02B21/26 G02B21/34 G02B21/24

    摘要: 本实用新型涉及一种3D显微镜,包括显微镜本体,所述镜本体包括观测组件、调焦组件、载物台以及能驱动所述台进行动的载物台调节组件。还包括控制电路板以及用于带动载有微结构的载玻片进行转动运动的位置调节机构,位置调节机构设置在所述载物台上,位置调节机构包括用于固定载玻片的支撑组件以及驱动支撑组件相对于载物台进行转动的驱动组件,驱动组件与控制电路板电连接。本实用新型中的3D显微镜能够更加充分利用显微镜本体结构,结构简单且能够直接设置在显微镜本体上即能实现微结构的立体观测,并且能与显微镜本体一体化设置以更易实现量产、携带、操作。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利