公开(公告)号：CN113721425A

公开(公告)日：2021-11-30

申请号：CN202110994779.3

申请日：2021-08-27

申请人： 宁波润华全芯微电子设备有限公司

发明人： 汪钢 ,  袁创迪

IPC分类号： G03F7/16 ,  G03F7/26

摘要： 本发明公开了一种晶圆匀胶显影装置，所述晶圆匀胶显影装置包括：固定板；晶圆匀胶显影单元，所述晶圆匀胶显影单元设于所述固定板；支架，所述支架设有至少一个安装开口；其中，所述固定板与所述支架滑动连接，所述晶圆匀胶显影单元能够随所述固定板从所述安装开口滑出或装入所述支架。本发明有效解决晶圆匀胶显影单元不便于更换和维修的问题。

公开(公告)号：CN113467199B

公开(公告)日：2021-11-12

申请号：CN202111035548.6

申请日：2021-09-06

申请人： 宁波润华全芯微电子设备有限公司

发明人： 刘长伟 ,  耿克涛 ,  袁创迪 ,  刘金

IPC分类号： G03F7/30 ,  H01L21/67

摘要： 本发明公开了一种便于拆卸的防止反溅液体污染晶圆的装置，所述防止反溅液体污染晶圆的装置包括：废液收集整流杯；废液收集整流杯支撑件，所述废液收集整流杯支撑件用于支撑所述废液收集整流杯；至少一个升降主动件，所述升降主动件设于所述废液收集整流杯的任意一侧，所述升降主动件用于控制所述废液收集整流杯升降运动；至少一个平动主动件，所述平动主动件与所述升降主动件滑动连接，所述平动主动件用于控制所述废液收集整流杯水平运动；其中，所述升降主动件连接所述废液收集整流杯支撑件，或所述平动主动件连接所述废液收集整流杯支撑件。本发明有效解决更换废液收集整流杯时，更换空间较小，操作不方便的问题。

公开(公告)号：CN113467199A

公开(公告)日：2021-10-01

申请号：CN202111035548.6

申请日：2021-09-06

申请人： 宁波润华全芯微电子设备有限公司

发明人： 刘长伟 ,  耿克涛 ,  袁创迪 ,  刘金

IPC分类号： G03F7/30 ,  H01L21/67

摘要： 本发明公开了一种便于拆卸的防止反溅液体污染晶圆的装置，所述防止反溅液体污染晶圆的装置包括：废液收集整流杯；废液收集整流杯支撑件，所述废液收集整流杯支撑件用于支撑所述废液收集整流杯；至少一个升降主动件，所述升降主动件设于所述废液收集整流杯的任意一侧，所述升降主动件用于控制所述废液收集整流杯升降运动；至少一个平动主动件，所述平动主动件与所述升降主动件滑动连接，所述平动主动件用于控制所述废液收集整流杯水平运动；其中，所述升降主动件连接所述废液收集整流杯支撑件，或所述平动主动件连接所述废液收集整流杯支撑件。本发明有效解决更换废液收集整流杯时，更换空间较小，操作不方便的问题。