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公开(公告)号：CN101463501A
公开(公告)日：2009-06-24
申请号：CN200910095375.X
申请日：2009-01-12
申请人： 宁波立立电子股份有限公司
摘要： 本发明公开的压力可控的外延顶笔装置，包括顶笔头，笔身，滑杆，弹簧，筒状笔杆和预紧螺丝，顶笔头紧固在笔身的一端，笔身的另一端设有中心螺纹孔和导向槽，滑杆置于筒状笔杆中，滑杆的一端与笔身的中心螺纹孔螺纹连接，滑杆的另一端具有与笔杆中的环形面配合的凸台，预紧螺丝拧接在筒状笔杆末端的螺纹孔中，弹簧置于笔杆的螺纹孔中，其一端抵住预紧螺丝，另一端抵住滑杆凸台的端面，笔杆的顶端设有与导向槽匹配的突出部分。该装置能够将顶笔作用于衬底片上的压力控制在一定的范围内，消除由于人为因素造成的顶片效果差别，提高外延片的电阻率一致性和厚度均匀性。
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公开(公告)号：CN101498036B
公开(公告)日：2011-03-16
申请号：CN200910095374.5
申请日：2009-01-12
申请人： 宁波立立电子股份有限公司
摘要： 本发明公开的具有自动警示功能的外延生产用可控压力顶笔装置，包括顶笔头、笔身、滑杆、笔杆和压力调节和自动警示装置，压力调节和自动警示装置包括壳体、置于壳体中的两个弹簧座、钮扣电池和弹簧，两个弹簧座通过轴向孔滑动配合，弹簧位于两个弹簧座之间，处于压紧状态，两个弹簧座的轴向孔内壁和轴向杆上分别镶嵌有金属片，置于笔杆中的滑杆的一端与固定顶笔头的笔身连接，另一端与第一弹簧座伸出壳体端接触。当顶笔头受力，两个弹簧座的金属片接触，电路接通，警示灯亮，该顶笔装置能够保证操作者对置于基座中的衬底片进行顶压时所施加顶笔的压力一致，消除由于人为因素造成的顶片效果差别，提高外延片的电阻率一致性和厚度均匀性。
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公开(公告)号：CN101498036A
公开(公告)日：2009-08-05
申请号：CN200910095374.5
申请日：2009-01-12
申请人： 宁波立立电子股份有限公司
摘要： 本发明公开的具有自动警示功能的外延生产用可控压力顶笔装置，包括顶笔头、笔身、滑杆、笔杆和压力调节和自动警示装置，压力调节和自动警示装置包括壳体、置于壳体中的两个弹簧座、钮扣电池和弹簧，两个弹簧座通过轴向孔滑动配合，弹簧位于两个弹簧座之间，处于压紧状态，两个弹簧座的轴向孔内壁和轴向杆上分别镶嵌有金属片，置于笔杆中的滑杆的一端与固定顶笔头的笔身连接，另一端与第一弹簧座伸出壳体端接触。当顶笔头受力，两个弹簧座的金属片接触，电路接通，警示灯亮，该顶笔装置能够保证操作者对置于基座中的衬底片进行顶压时所施加顶笔的压力一致，消除由于人为因素造成的顶片效果差别，提高外延片的电阻率一致性和厚度均匀性。
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公开(公告)号：CN101498035A
公开(公告)日：2009-08-05
申请号：CN200910095373.0
申请日：2009-01-12
申请人： 宁波立立电子股份有限公司
摘要： 本发明公开的具有自锁定功能的外延生产用压力可控的顶笔装置，包括顶笔头、笔身、滑杆、弹簧、笔杆、预紧螺丝和环形圈，环形圈套在笔杆上构成旋转配合，置于笔杆中的滑杆外壁设有直角楔型“凸起”，环形圈的内壁有簧片，通过簧片与直角楔型“凸起”配合对滑杆起锁定作用。该顶笔装置能够保证操作者对置于基座中的衬底片进行顶压时所施加顶笔的压力一致，消除由于人为因素造成的顶片效果差别，提高外延片的电阻率一致性和厚度均匀性；能够有效避免顶笔装置在离开作用表面时由于顶笔头的复位而产生的表面划伤，提高装取衬底片的效率和成品率。
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