超表面结构及其的设计方法
    1.
    发明公开

    公开(公告)号:CN119419501A

    公开(公告)日:2025-02-11

    申请号:CN202411657283.7

    申请日:2024-11-19

    Abstract: 本发明提供了一种超表面结构及其的设计方法。超表面结构的设计方法包括如下步骤:确定衬底和衬底上的超表面单元的材料,以及超表面单元的形状;确定超表面单元在第一尺寸范围内的透过率曲线和/或相位响应曲线;判断透过率曲线和/或相位响应曲线中是否存在谐振峰;如果透过率曲线和/或相位响应曲线中存在谐振峰,则调整覆盖层的材料和厚度,以消除谐振峰;如果透过率曲线和/或相位响应曲线中不存在谐振峰,则判定设计方法完成。本发明解决了现有技术中的超表面结构存在相位响应有谐振峰从而影响透过率的问题。

    超表面元件的设计方法和投影装置

    公开(公告)号:CN118897399A

    公开(公告)日:2024-11-05

    申请号:CN202411116633.9

    申请日:2024-08-14

    Abstract: 本发明提供了一种超表面元件的设计方法和投影装置。超表面元件的设计方法包括:根据目标投射点阵确定超表面元件的准直相位#imgabs0#和超表面元件的衍射相位#imgabs1#根据准直相位#imgabs2#和衍射相位#imgabs3#得到超表面元件经p偏振光入射时的相位#imgabs4#和超表面元件经s偏振光入射时的相位#imgabs5#中的一者,根据目标投射匀光光场确定相位#imgabs6#和相位#imgabs7#中的另一者;根据相位#imgabs8#和相位#imgabs9#确定超表面元件的多个微纳结构的分布。本发明解决了现有技术中的超表面元件存在集成多种投射光场困难的问题。

    用于改善零级衍射效应的衍射光学元件的设计方法

    公开(公告)号:CN116609941A

    公开(公告)日:2023-08-18

    申请号:CN202310697867.6

    申请日:2023-06-12

    Abstract: 本发明提供了一种用于改善零级衍射效应的衍射光学元件的设计方法。步骤S1:获取初始衍射光学元件,采用标量衍射算法求得初始衍射光学元件的相位分布,以得到初始相位分布;步骤S2:对初始相位分布进行点阵列处理以形成点阵列区域,从而形成新的衍射光学元件;步骤S3:根据初始相位分布的相位差计算加工深度;步骤S4:对初始衍射光学元件的加工深度进行矢量扫描以得到不同深度下的零级衍射效率,同时对新的衍射光学元件的加工深度进行矢量扫描得到不同深度下的零级衍射效率;步骤S5:将初始衍射光学元件与新的衍射光学元件在不同深度下的零级衍射效率进行对比分析。本发明解决了现有技术中的衍射光学元件存在零级衍射效应影响成像质量的问题。

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