公开(公告)号：CN102668016B

公开(公告)日：2016-02-24

申请号：CN201080054595.9

申请日：2010-10-25

申请人： 安格斯公司

发明人： E·E·琼斯 ,  S·N·叶德弗 ,  唐瀛 ,  B·L·钱伯斯 ,  R·凯姆 ,  J·D·斯威尼 ,  O·拜尔 ,  邹鹏

IPC分类号： H01J37/317 ,  H01L21/265

CPC分类号： H01L21/265 ,  C23C14/48 ,  C23C14/52 ,  H01J37/08 ,  H01J37/3171 ,  H01J37/32055 ,  H01J37/32412 ,  H01J37/32449 ,  H01J2237/006 ,  H01J2237/022

摘要： 一种离子注入系统及方法，提供掺杂气体馈送线路中掺杂气体的冷却，以对抗由于电弧腔室生成的热量而造成掺杂气体的加热与分解,例如使用诸如B2F4的硼源材料，或其它BF3的替代物。在此描述了各种电弧腔室热管理的设置，以及等离子体特性的改变、特定流动设置、清洗处理过程、功率管理、平衡偏移、提取光学器件的最优化、流动通道中的沉积物的探测，以及源寿命的最优化，以实现离子注入系统的有效操作。

公开(公告)号：CN105702547A

公开(公告)日：2016-06-22

申请号：CN201610048444.1

申请日：2010-10-25

申请人： 安格斯公司

发明人： E·E·琼斯 ,  S·N·叶德弗 ,  唐瀛 ,  B·L·钱伯斯 ,  R·凯姆 ,  J·D·斯威尼 ,  O·拜尔 ,  邹鹏

IPC分类号： H01J37/08 ,  H01J37/317

CPC分类号： H01L21/265 ,  C23C14/48 ,  C23C14/52 ,  H01J37/08 ,  H01J37/3171 ,  H01J37/32055 ,  H01J37/32412 ,  H01J37/32449 ,  H01J2237/006 ,  H01J2237/022

摘要： 一种离子注入系统及方法，提供掺杂气体馈送线路中掺杂气体的冷却，以对抗由于电弧腔室生成的热量而造成掺杂气体的加热与分解,例如使用诸如B2F4的硼源材料，或其它BF3的替代物。在此描述了各种电弧腔室热管理的设置，以及等离子体特性的改变、特定流动设置、清洗处理过程、功率管理、平衡偏移、提取光学器件的最优化、流动通道中的沉积物的探测，以及源寿命的最优化，以实现离子注入系统的有效操作。