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公开(公告)号：CN118270824A
公开(公告)日：2024-07-02
申请号：CN202211718840.2
申请日：2022-12-30
Applicant: 安集微电子科技(上海)股份有限公司
IPC: C01F17/235 , C09G1/02 , C01F17/10
Abstract: 本发明提供了一种氧化铈的合成方法，包括，S1：分别配置可溶性铈盐水溶液和沉淀剂水溶液，将所述可溶性铈盐水溶液加入至沉淀剂水溶液中，在室温下搅拌；S2：升温至反应温度，保持所述反应温度第一时间；S3：冷却至室温，过滤洗涤沉淀物，并进行干燥，得到球形碳酸铈粉末；S4：高温焙烧所述球形碳酸铈粉末，得到氧化铈产物。本发明的氧化铈合成方法能够合成球形氧化铈；并且，能够实现对球形氧化铈磨料形貌控制；通过本发明中的合成方法合成出的氧化铈磨料在抛光过程中对硅片的划伤率较低。
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