感光性树脂组合物、图案形成方法、固化膜、层叠体及器件

    公开(公告)号:CN113383273B

    公开(公告)日:2023-11-14

    申请号:CN201980079866.7

    申请日:2019-11-29

    摘要: 一种感光性树脂组合物、使用由上述感光性树脂组合物形成的感光膜的图案形成方法、由上述感光性树脂组合物形成的固化膜、包含上述固化膜的层叠体及包含上述固化膜或上述层叠体的器件,所述感光性树脂组合物包含选自由聚酰亚胺前体及聚苯并噁唑前体组成的组中的至少一种前体、具有亚硫酸酯结构的化合物及光自由基聚合引发剂,且满足下述条件1~条件3中的至少1个,条件1:上述前体包含自由基聚合性基团;条件2:上述具有亚硫酸酯结构的化合物包含自由基聚合性基团;条件3:上述感光性树脂组合物还包含除了上述前体及上述具有亚硫酸酯结构的化合物以外的含有自由基聚合性基团的化合物。

    固化物的制造方法、层叠体的制造方法及电子器件的制造方法

    公开(公告)号:CN116113884A

    公开(公告)日:2023-05-12

    申请号:CN202180054236.1

    申请日:2021-08-17

    IPC分类号: G03F7/027

    摘要: 本发明提供一种即使在低温下固化的情况下,也可以得到断裂伸长率优异的固化物的固化物的制造方法、包含上述固化物的制造方法的层叠体的制造方法及包含上述固化物的制造方法或上述层叠体的制造方法的电子器件的制造方法。固化物的制造方法包括:膜形成工序,将特定的感光性树脂组合物适用于基材上而形成膜;曝光工序;显影工序,基于包含选自碱及产碱剂中的至少一种的化合物的显影液进行;以及加热工序,水的含量相对于上述显影液的总质量为50质量%以下。