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发明授权
保险丝及断开保险丝的方法失效转让

公开(公告)号：CN100495697C

公开(公告)日：2009-06-03

申请号：CN200610008517.0

申请日：2006-02-16

Applicant: 富士通微电子株式会社

Inventor： 大冢敏志 , 泽田丰治 , 须贺真人 , 长山准 , 佐藤元伸 , 铃木贵志

IPC: H01L23/525 , H01L21/768

Abstract: 一种保险丝及断开保险丝的方法，该保险丝包括：包含硅层的互连部分(14)；连接至该互连部分(14)的一端的接触塞(20b)；以及连接至该互连部分(14)的另一端并包含金属材料的接触塞(20a)。电流从接触部分(20b)流向接触部分(20a)，以使接触部分(20a)的金属材料迁移至该硅层，从而改变互连部分(14)与接触部分(20a)之间的接触电阻。本发明在保险丝断开时保护外围元件不受损害。无需增大保险丝电路就可防止层间绝缘膜中产生裂纹。通过第二接触塞的金属材料的迁移，第一接触塞与第二接触塞可以彼此完全断开，从而能够使得断开前后的电阻变化很大。

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