公开(公告)号：CN107073883A

公开(公告)日：2017-08-18

申请号：CN201580050325.3

申请日：2015-09-15

Applicant: 尤尼吉可株式会社

Inventor： 繁田朗 ,  吉田猛 ,  山田祐己 ,  森北达也 ,  山田宗纪 ,  细田雅弘 ,  越后良彰

IPC: B32B7/04 ,  B32B27/34 ,  G02F1/1333 ,  H01L21/02 ,  H01L27/12 ,  H01L51/50 ,  H05B33/02 ,  H05B33/04 ,  H05B33/10

Abstract: 本发明提供一种包含柔性基板层的耐热树脂膜与无机基板的密合性良好，能够容易且在短时间内将柔性基板层从无机基板分离的层叠体。上述层叠体是具有无机基板(1)和形成在该无机基板上的耐热树脂膜(2)的层叠体(100)，具有以下的特征：(1)耐热树脂膜(2)具有柔性基板层(21)和设置于该柔性基板层的外缘部的牺牲层(22)；(2)柔性基板层(21)与无机基板(1)的粘接强度为2N/cm以下；(3)牺牲层(22)与无机基板(1)的粘接强度超过2N/cm；(4)牺牲层(22)与无机基板(1)的粘接强度通过后处理而成为2N/cm以下。