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公开(公告)号：CN101943768A
公开(公告)日：2011-01-12
申请号：CN201010241845.1
申请日：2010-08-02
申请人： 山东大学
摘要： 一种用离子注入与离子束刻蚀相结合制备KTP脊形光波导的方法，属于光电子器件制备技术领域。制备方法如下：将尺寸为10mm×10mm×1mm的z切KTP晶体的表面及相对两个端面光学抛光；用丙酮、去离子水、和酒精清洗样品，进行离子注入得到平面光波导；在样品上甩涂BP218光刻胶，掩模板曝光，然后显影、坚膜，形成光刻胶的条形掩模；将样品放在离子束刻蚀机靶室中，抽真空至10-4帕量级，进行离子束刻蚀；清洗光刻胶掩模，得到脊形形光波导。所形成的脊形光波导可以很好的保持KTP晶体的非线性光学特性，在制备光开关、光调制器等方面具有潜在的应用价值。
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公开(公告)号：CN102707377A
公开(公告)日：2012-10-03
申请号：CN201210193195.7
申请日：2012-06-12
申请人： 山东大学
摘要： 本发明涉及一种低损耗铌酸锂条型波导和分支结构的制备方法，采用多能量中/重离子注入，注入离子的能量范围是2MeV~6MeV，注入后采用温度由低到高阶梯式退火处理，温度范围200℃~500℃,逐渐增加退火温度，每次增加温度的间隔至少15℃，每一退火温度下的退火时间为20min~60min。多能量注入减小了漏光损耗，多温度梯度退火在减少吸收和散射损耗的同时确保折射率减小层的稳定，采用本发明中的方法我们已经在铌酸锂晶体上获得了损耗只有0.17dB的能够在1.5微米波段传输的单模条形波导和分支器，这是目前能够测到的离子注入波导损耗的最小值。
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公开(公告)号：CN101950047A
公开(公告)日：2011-01-19
申请号：CN201010258227.8
申请日：2010-08-20
申请人： 山东大学
摘要： 在磷酸钛氧钾晶体上制备准三维光子晶体结构的方法，属于光电子器件制备技术领域。具体制备方法如下：首先将KTP晶体切割为10mm×10mm×2mm的样品，对表面及相对两个端面进行光学抛光；将样品放入加速器靶室中进行离子注入形成平面光波导；用去离子水、酒精及丙酮清洗样品，在样品上甩涂BP218光刻胶，经曝光、显影、坚膜后形成光刻胶条形掩模；采用Ar离子束刻蚀制成脊形波导；在KTP脊型波导表面镀导电薄膜后，应用FIB系统在脊形波导区域刻蚀亚微米级光子晶体结构，通过调整系统参数及工作条件，得到性能良好的亚微米级准三维光子晶体。该发明可实现对光束的三维约束，用于制作作光子晶体滤波器、分束器、反射器等光电器件。
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公开(公告)号：CN1238578C
公开(公告)日：2006-01-25
申请号：CN03111918.2
申请日：2003-03-04
申请人： 山东大学
摘要： 一种用离子注入制备钕掺杂钒酸钇晶体波导激光的方法，主要在(Nd3+:YVO4)晶体中形成平面及条形波导和实现波导激光输出。采用能量为2.0-6.0MeV，剂量为1×1012～5×1015离子/平方厘米范围的磷离子注入，在钕离子掺杂钒酸钇晶体表面形成平面光波导，或利用先做条形掩膜，再做磷离子注入的方法，形成钕离子掺杂钒酸钇的条形光波导。对波导端面进行激光谐振腔镀膜后，利用一定波长和功率的泵浦激光对钕离子掺杂钒酸钇平面波导或条形波导进行泵浦，输出波长在1064nm左右的红外激光。
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公开(公告)号：CN103948587B
公开(公告)日：2016-08-10
申请号：CN201410180986.5
申请日：2014-04-30
申请人： 山东大学
IPC分类号： A61K31/4045 , C07D209/34 , A61P35/00
摘要： 本发明公开了一种以Raf/MEK/ERK和PI3K/Akt为靶点的双通道抑制剂，化学名称为1?(2?氨基)乙基?3?(3?(4?甲氧基)苯基)丙烯基吲哚?2?酮盐酸盐，具有结构式(Ⅰ)的化合物：还公开了该化合物的制备方法和在抗肿瘤药物制备中的应用。本发明的双通道抑制剂具有以下优势：1)提高效价并降低耐药的发生概率；2)降低毒性，改善病人依从性。因此，双通道抑制剂的设计和开发可以为癌症研究团体提供一个新的化学工具，并可能开发为一个新的抗癌剂。
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公开(公告)号：CN101957474A
公开(公告)日：2011-01-26
申请号：CN201010246790.3
申请日：2010-08-06
申请人： 山东大学
摘要： 在周期极化近化学剂量比铌酸锂晶体上制作平面和条形光波导的方法，属于非线性光学晶体材料技术领域。制备方法如下：将已实现铁电畴周期极化的z切的铌酸锂晶体切割成尺寸为10mm×10mm×1mm的样品，对表面及相对两个端面光学抛光；用酒精和丙酮清洗样品，在样品上甩涂BP218光刻胶，掩模板曝光，然后显影、坚膜，形成光刻胶的条形掩模；将样品放在加速器靶室中，抽真空至10-4帕量级，进行轻离子或重离子注入；清洗光刻胶掩模，得到条形光波导；对样品光学抛光、清洗后直接进行离子注入，即得到平面光波导。
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公开(公告)号：CN1434551A
公开(公告)日：2003-08-06
申请号：CN03111917.4
申请日：2003-03-04
申请人： 山东大学
摘要： 本发明用离子注入制备钕掺杂钒酸钇晶体波导激光的方法，主要在(Nd3+：YVO4)晶体中形成平面及条形波导和实现波导激光输出。采用能量为2.0－6.0MeV，剂量为1×1012～5×1015离子/平方厘米范围的磷离子注入，在钕离子掺杂钒酸钇晶体表面形成平面光波导，或利用先做条形掩膜，再做磷离子注入的方法，形成钕离子掺杂钒酸钇的条形光波导。对波导端面进行激光谐振腔镀膜后，通过一定波长和功率的泵浦激光对钕离子掺杂钒酸钇平面波导或条形波导进行泵浦，输出波长为1064nm左右的红外激光。
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公开(公告)号：CN102707377B
公开(公告)日：2014-04-16
申请号：CN201210193195.7
申请日：2012-06-12
申请人： 山东大学
摘要： 本发明涉及一种低损耗铌酸锂条型波导和分支结构的制备方法，采用多能量中/重离子注入，注入离子的能量范围是2MeV~6MeV，注入后采用温度由低到高阶梯式退火处理，温度范围200℃~500℃,逐渐增加退火温度，每次增加温度的间隔至少15℃，每一退火温度下的退火时间为20min~60min。多能量注入减小了漏光损耗，多温度梯度退火在减少吸收和散射损耗的同时确保折射率减小层的稳定，采用本发明中的方法我们已经在铌酸锂晶体上获得了损耗只有0.17dB的能够在1.5微米波段传输的单模条形波导和分支器，这是目前能够测到的离子注入波导损耗的最小值。
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公开(公告)号：CN1280959C
公开(公告)日：2006-10-18
申请号：CN03111917.4
申请日：2003-03-04
申请人： 山东大学
摘要： 本发明用离子注入制备钕掺杂钒酸钇晶体波导激光的方法，主要在(Nd3+:YVO4)晶体中形成平面及条形波导和实现波导激光输出。采用能量为2.0-6.0MeV，剂量为1×1012～5×1015离子/平方厘米范围的磷离子注入，在钕离子掺杂钒酸钇晶体表面形成平面光波导，或利用先做条形掩膜，再做磷离子注入的方法，形成钕离子掺杂钒酸钇的条形光波导。对波导端面进行激光谐振腔镀膜后，通过一定波长和功率的泵浦激光对钕离子掺杂钒酸钇平面波导或条形波导进行泵浦，输出波长为1064nm左右的红外激光。
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公开(公告)号：CN103948587A
公开(公告)日：2014-07-30
申请号：CN201410180986.5
申请日：2014-04-30
申请人： 山东大学
IPC分类号： A61K31/4045 , C07D209/34 , A61P35/00
摘要： 本发明公开了一种以Raf/MEK/ERK和PI3K/Akt为靶点的双通道抑制剂，化学名称为1-(2-氨基)乙基-3-(3-(4-甲氧基)苯基)丙烯基吲哚-2-酮盐酸盐，具有结构式(Ⅰ)的化合物：，还公开了该化合物的制备方法和在抗肿瘤药物制备中的应用。本发明的双通道抑制剂具有以下优势：1)提高效价并降低耐药的发生概率；2)降低毒性，改善病人依从性。因此，双通道抑制剂的设计和开发可以为癌症研究团体提供一个新的化学工具，并可能开发为一个新的抗癌剂。
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