多弧离子镀制备小调制周期Ti/TiN超硬纳米多层膜

    公开(公告)号:CN109440069A

    公开(公告)日:2019-03-08

    申请号:CN201910043083.5

    申请日:2019-01-17

    申请人: 山东大学

    IPC分类号: C23C14/32 C23C14/16 C23C14/06

    摘要: 本发明公开了多弧离子镀制备小调制周期Ti/TiN超硬纳米多层膜。该膜的制备方法包括:将钛金属沉积靶单向放置于腔体的内部;将硬质合金和单面抛光单晶硅片作为薄膜生长的样品基底;抽取腔体内部的空气,使得腔体内部为真空状态;在真空状态下,对腔体的内部进行加热,并通入高于氩气纯度阈值的氩气,辉光放电清洗第一时间段;将氩气的流量降低至第一流量流速;开启钛金属沉积靶,并在负偏压下对样品基底进行轰击清洗第二时间段;预先沉积第一沉积厚度的钛层作为过渡层;将氩气和氮气分别周期性的通入腔体内,交替沉积钛子层和氮化钛子层,形成多弧离子镀制备小调制周期Ti/TiN超硬纳米多层膜,提高了基于TiN薄膜所制成的产品的使用寿命。

    多弧离子镀制备小调制周期Ti/TiN超硬纳米多层膜

    公开(公告)号:CN109440069B

    公开(公告)日:2021-01-26

    申请号:CN201910043083.5

    申请日:2019-01-17

    申请人: 山东大学

    IPC分类号: C23C14/32 C23C14/16 C23C14/06

    摘要: 本发明公开了多弧离子镀制备小调制周期Ti/TiN超硬纳米多层膜。该膜的制备方法包括:将钛金属沉积靶单向放置于腔体的内部;将硬质合金和单面抛光单晶硅片作为薄膜生长的样品基底;抽取腔体内部的空气,使得腔体内部为真空状态;在真空状态下,对腔体的内部进行加热,并通入高于氩气纯度阈值的氩气,辉光放电清洗第一时间段;将氩气的流量降低至第一流量流速;开启钛金属沉积靶,并在负偏压下对样品基底进行轰击清洗第二时间段;预先沉积第一沉积厚度的钛层作为过渡层;将氩气和氮气分别周期性的通入腔体内,交替沉积钛子层和氮化钛子层,形成多弧离子镀制备小调制周期Ti/TiN超硬纳米多层膜,提高了基于TiN薄膜所制成的产品的使用寿命。

    一种碳纤维表面金属化方法

    公开(公告)号:CN109338309B

    公开(公告)日:2020-11-03

    申请号:CN201811286689.3

    申请日:2018-10-31

    申请人: 山东大学

    IPC分类号: C23C14/32 C23C14/18

    摘要: 本发明属于材料表面处理技术领域,尤其涉及一种碳纤维表面金属化方法,该方法包括以下步骤:A、将碳纤维缠绕在挂架上并置于盛放有丙酮的容器中,然后将容器置于超声池中超声处理,备用;B、将挂架的两端固定在多弧离子镀真空腔体内的工件转盘上并抽至真空,然后进行升温;C、向多弧离子镀真空腔体内通入150‑180cm3/min氩气,然后在挂架上的碳纤维施加700‑800V负偏压,5‑10min后,将氩气的流量调节至80‑100cm3/min,碳纤维的负偏压调节至50‑100V,接着将待镀金属靶材通电起弧,靶电流为60‑90A,最后镀制10‑20min;本发明方法操作简单,环境污染小,镀制的膜层与碳纤维结合紧密,镀膜均匀。

    一种碳纤维表面金属化方法

    公开(公告)号:CN109338309A

    公开(公告)日:2019-02-15

    申请号:CN201811286689.3

    申请日:2018-10-31

    申请人: 山东大学

    IPC分类号: C23C14/32 C23C14/18

    摘要: 本发明属于材料表面处理技术领域,尤其涉及一种碳纤维表面金属化方法,该方法包括以下步骤:A、将碳纤维缠绕在挂架上并置于盛放有丙酮的容器中,然后将容器置于超声池中超声处理,备用;B、将挂架的两端固定在多弧离子镀真空腔体内的工件转盘上并抽至真空,然后进行升温;C、向多弧离子镀真空腔体内通入150-180cm3/min氩气,然后在挂架上的碳纤维施加700-800V负偏压,5-10min后,将氩气的流量调节至80-100cm3/min,碳纤维的负偏压调节至50-100V,接着将待镀金属靶材通电起弧,靶电流为60-90A,最后镀制10-20min;本发明方法操作简单,环境污染小,镀制的膜层与碳纤维结合紧密,镀膜均匀。