一种用于量子通信中波导的刻蚀工艺方法

    公开(公告)号:CN114690316A

    公开(公告)日:2022-07-01

    申请号:CN202210380098.2

    申请日:2022-04-12

    摘要: 本发明公开了一种用于量子通信中波导的刻蚀工艺方法,高质量铌酸锂波导在量子通信中至关重要,波导质量决定了芯片的质量,进而影响在量子通信中的传输量与传输速度,选用铌酸锂晶圆为衬底,在其正Z面沉积铬层、旋涂光刻胶,后经光刻、铬腐蚀在铌酸锂晶圆上得到波导图形,再经质子交换、刻蚀等工艺过程,得到高质量波导,光刻胶厚度控制在600‑700nm;氢离子与锂离子进行交换,质子源为配比4270:1的苯甲酸与苯甲酸锂熔融态,质子交换炉温度170℃、时间10‑24h;湿法刻蚀过程中,1:2.5氢氟酸和硝酸刻蚀液,16‑20℃的刻蚀温度。本发明采用的刻蚀工艺方法,使得展宽精准控制、刻蚀速率稳定、波导表面光滑、传输损耗低。

    一种邦迪管用钢带电镀前处理槽

    公开(公告)号:CN106591909B

    公开(公告)日:2019-01-29

    申请号:CN201710043473.3

    申请日:2017-01-21

    IPC分类号: C25D5/36 C25D7/06

    摘要: 一种邦迪管用钢带电镀前处理槽,前处理槽中设置有超声波发生器,钢带进入前处理槽后首先利用超声波发生器对钢带表面进行清洗;前处理槽内设置有隔板,将前处理槽分为三部分:超声波洗处理槽、化学除油槽、电解除油槽;前处理槽槽的左右两侧各有一个空位槽;空位槽内设置有隔板,每个隔板两侧上方和下方设置有高压喷头,喷头可呈45°角上下清洗钢带;如果遇到停电等突发情况时,前处理槽中的处理液在重力的作用下经过输液管流入处理槽储存,可以对其进行保温作用。本发明一种邦迪管用钢带电镀前处理槽中,无论是前处理过程或是钢带电镀过程,钢带都是呈S型走向,使生产线缩短,大大节省了占地面积,将生产线的成本大大降低至原来的二分之一。

    一种邦迪管用电镀槽
    9.
    发明授权

    公开(公告)号:CN106884197B

    公开(公告)日:2019-01-22

    申请号:CN201710043468.2

    申请日:2017-01-21

    IPC分类号: C25D17/00 C25D7/04

    摘要: 一种邦迪管用电镀槽,主要包括包括前处理过程和电镀铜过程,前处理主要包括超声波除油、电解除油、水洗、活化、水洗;电镀过程主要包括镀铜、回收、水洗;其主要特征是:在生产中,钢带是呈S型走向,使生产线缩短约二分之一,大大节省了占地面积,同时更合理的利用了资源。镀槽的左右两侧空位槽内设置有隔板,隔板两侧上方和下方设置有高压喷头呈45°角上下清洗钢带;镀槽内设置有隔板,每个隔板两侧上方和下方设置有高压镀液喷头,高压镀液喷头可呈45°角上下向钢带喷射镀液;镀槽外设置有导电辊,导电辊由胶辊和钢辊组成,钢辊可用来导电,胶辊纠偏钢带;在镀槽的上方设置有可开启透明镀槽盖。此方法制作钢带可以使其镀层均匀,有效防止邦迪管镀铜钢带的浪费,更重要的是保护了工作人员的安全和环境。

    邦迪管用钢带电镀方法
    10.
    发明授权

    公开(公告)号:CN106591910B

    公开(公告)日:2019-01-22

    申请号:CN201710043474.8

    申请日:2017-01-21

    摘要: 邦迪管用钢带电镀方法,包括前处理过程和电镀铜过程,其主要特征是:钢带在电镀过程中呈S型走向,节约生产线成本约三分之一;镀铜槽的左右两侧各有一个空位槽;空位槽内设置有隔板,每个隔板两侧上方和下方设置有高压喷头呈45°角上下清洗钢带;镀槽外设置有导电辊,导电辊由胶辊和钢辊组成,钢辊可用来导电,胶辊纠偏钢带;硫酸盐镀铜中含磷量极少,会使镀层结合更加紧密,不易脱焊,可以有效的节约资源,保护人员的安全。