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公开(公告)号：CN102149836A
公开(公告)日：2011-08-10
申请号：CN200980135768.7
申请日：2009-07-14
Applicant: 山阳特殊制钢株式会社
CPC classification number: G11B5/851 , B22F2998/10 , C22C1/0433 , C22C19/07 , C22C30/00 , C22C33/0285 , C22C45/02 , C22C45/04 , C22C2202/02 , C23C14/3414 , G11B5/656 , B22F9/082 , B22F3/14
Abstract: 本发明提供一种用于在垂直磁记录介质中的软磁膜层的合金，所述合金具有优异的饱和磁通密度、非结晶性和耐腐蚀性，并且提供一种整体上具有这种优异的合金组成但是具有高的PTF值的溅射靶材，该溅射靶材可以有效地用于磁控溅射。这种合金包含以原子％计的下列各项：Fe：10至45％；Ni：1至25％；Zr、Hf、Nb、Ta和B中的一种或多种：Zr+Hf+Nb+Ta+B/2之和为5至10％，其中B为0至7％的量；以及Al和Cr中的一种或多种：Al+Cr之和为0至5％；以及作为余量的Co和不可避免的杂质：37％以上，并且所述合金以原子比计满足下列各项：Fe/(Co+Fe+Ni)：0.10至0.50；以及Ni/(Co+Fe+Ni)：0.01至0.25。
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公开(公告)号：CN101067199B
公开(公告)日：2010-11-10
申请号：CN200710126640.7
申请日：2007-04-27
Applicant: 山阳特殊制钢株式会社
CPC classification number: B22F3/12 , B22F3/15 , B22F2998/10 , C22C1/0433 , C22C19/07 , C22C33/0257 , C22C38/10 , C22C38/12 , C22C38/14 , C22C2202/02 , C23C14/3414 , H01F1/22 , H01F10/14 , H01F10/16 , H01F41/0246 , B22F1/0003
Abstract: 本发明公开了一种用于形成软磁性薄膜的Fe-Co系靶材的制造方法。该制造方法包括如下工序：混合Fe：Co的质量比为8：2～7：3的第一原料粉末和Fe：Co的质量比为2：8～0：10的第二原料粉末，以使得Fe：Co的质量比为8：2～2：8，并在1073～1473K的温度下，施加100MPa以上的压力进行成形。在第一原料粉末和第二原料粉末的一个或双方中，添加相对于混合粉末的重量为3～15原子％的选自Nb、Zr、Ta和Hf的组成的群中的至少一种添加元素。这样制造的Fe-Co系靶材具有高密度，且导磁率比历来的都要低。
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公开(公告)号：CN102766848B
公开(公告)日：2015-03-04
申请号：CN201210213690.X
申请日：2009-04-30
Applicant: 山阳特殊制钢株式会社
CPC classification number: G11B5/667 , C22C1/0433 , C22C19/03 , C22C19/058 , C23C14/3414 , G11B5/8404 , G11B5/851
Abstract: 本发明公开一种用于制备垂直磁记录介质的中间层膜的溅射靶材料，其能够显著减小通过溅射形成的薄膜的晶粒尺寸。所述溅射靶材料以原子％计包含1至20％的W；总计0.1至10％的P、Zr、Si和B组成的组一种或多种选自由P、Zr、Si和B组成的组中的元素；和余量的Ni。
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公开(公告)号：CN102149836B
公开(公告)日：2014-03-19
申请号：CN200980135768.7
申请日：2009-07-14
Applicant: 山阳特殊制钢株式会社
CPC classification number: G11B5/851 , B22F2998/10 , C22C1/0433 , C22C19/07 , C22C30/00 , C22C33/0285 , C22C45/02 , C22C45/04 , C22C2202/02 , C23C14/3414 , G11B5/656 , B22F9/082 , B22F3/14
Abstract: 本发明提供一种用于在垂直磁记录介质中的软磁膜层的合金，所述合金具有优异的饱和磁通密度、非结晶性和耐腐蚀性，并且提供一种整体上具有这种优异的合金组成但是具有高的PTF值的溅射靶材，该溅射靶材可以有效地用于磁控溅射。这种合金包含以原子％计的下列各项：Fe：10至45％；Ni：1至25％；Zr、Hf、Nb、Ta和B中的一种或多种：Zr+Hf+Nb+Ta+B/2之和为5至10％，其中B为0至7％的量；以及Al和Cr中的一种或多种：Al+Cr之和为0至5％；以及作为余量的Co和不可避免的杂质：37％以上，并且所述合金以原子比计满足下列各项：Fe/(Co+Fe+Ni)：0.10至0.50；以及Ni/(Co+Fe+Ni)：0.01至0.25。
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公开(公告)号：CN102016110B
公开(公告)日：2013-09-04
申请号：CN200980114784.8
申请日：2009-04-30
Applicant: 山阳特殊制钢株式会社
CPC classification number: G11B5/667 , C22C1/0433 , C22C19/03 , C22C19/058 , C23C14/3414 , G11B5/8404 , G11B5/851
Abstract: 本发明公开一种用于制备垂直磁记录介质的中间层膜的溅射靶材料，其能够显著减小通过溅射形成的薄膜的晶粒尺寸。所述溅射靶材料以原子％计包含1至20％的W；总计0.1至10％的P、Zr、Si和B组成的组一种或多种选自由P、Zr、Si和B组成的组中的元素；和余量的Ni。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104032276A
公开(公告)日：2014-09-10
申请号：CN201410287333.7
申请日：2007-04-11
Applicant: 山阳特殊制钢株式会社
CPC classification number: C23C14/3414 , G11B5/667 , G11B5/8404
Abstract: 本发明公开一种不使磁特性劣化，并使耐气候性提高的软磁性靶材。第一方式的软磁性靶材，由Fe:Co的原子比为100:0～20:80的Fe－Co系合金构成，所述合金还含有0.2～5原子％的Al或Cr的1种或2种。另外，本发明的第二方式的软磁性靶材，由Fe:Ni的原子比为100:0～20:80的Fe－Ni系合金构成，所述合金还含有0.2～5原子％的Al或Cr的1种或2种。在第一及第二方式的软磁性靶材中，上述合金能够含有30原子％以下的从B、Nb、Zr、Ta、Hf、Ti及V所构成的群中选择的1种或2种以上。
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公开(公告)号：CN102766848A
公开(公告)日：2012-11-07
申请号：CN201210213690.X
申请日：2009-04-30
Applicant: 山阳特殊制钢株式会社
CPC classification number: G11B5/667 , C22C1/0433 , C22C19/03 , C22C19/058 , C23C14/3414 , G11B5/8404 , G11B5/851
Abstract: 本发明公开一种用于制备垂直磁记录介质的中间层膜的溅射靶材料，其能够显著减小通过溅射形成的薄膜的晶粒尺寸。所述溅射靶材料以原子％计包含1至20％的W；总计0.1至10％的P、Zr、Si和B组成的组一种或多种选自由P、Zr、Si和B组成的组中的元素；和余量的Ni。
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公开(公告)号：CN102016110A
公开(公告)日：2011-04-13
申请号：CN200980114784.8
申请日：2009-04-30
Applicant: 山阳特殊制钢株式会社
CPC classification number: G11B5/667 , C22C1/0433 , C22C19/03 , C22C19/058 , C23C14/3414 , G11B5/8404 , G11B5/851
Abstract: 本发明公开一种用于制备垂直磁记录介质的中间层膜的溅射靶材料，其能够显著减小通过溅射形成的薄膜的晶粒尺寸。所述溅射靶材料以原子％计包含1至20％的W；总计0.1至10％的P、Zr、Si和B组成的组一种或多种选自由P、Zr、Si和B组成的组中的元素；和余量的Ni。
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公开(公告)号：CN101067199A
公开(公告)日：2007-11-07
申请号：CN200710126640.7
申请日：2007-04-27
Applicant: 山阳特殊制钢株式会社
CPC classification number: B22F3/12 , B22F3/15 , B22F2998/10 , C22C1/0433 , C22C19/07 , C22C33/0257 , C22C38/10 , C22C38/12 , C22C38/14 , C22C2202/02 , C23C14/3414 , H01F1/22 , H01F10/14 , H01F10/16 , H01F41/0246 , B22F1/0003
Abstract: 本发明公开了一种用于形成软磁性薄膜的Fe－Co系靶材的制造方法。该制造方法包括如下工序：混合Fe∶Co的质量比为8∶2～7∶3的第一原料粉末和Fe∶Co的质量比为2∶8～0∶10的第二原料粉末，以使得Fe∶Co的质量比为8∶2～2∶8，并在1073～1473K的温度下，施加100MPa以上的压力进行成形。在第一原料粉末和第二原料粉末的一个或双方中，添加相对于混合粉末的重量为3～15原子％的选自Nb、Zr、Ta和Hf的组成的群中的至少一种添加元素。这样制造的Fe－Co系靶材具有高密度，且导磁率比历来的都要低。
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公开(公告)号：CN101054658A
公开(公告)日：2007-10-17
申请号：CN200710091791.3
申请日：2007-04-11
Applicant: 山阳特殊制钢株式会社
CPC classification number: C23C14/3414 , G11B5/667 , G11B5/8404
Abstract: 公开一种不使磁特性劣化，并使耐气候性提高的软磁性靶材。第一方式的软磁性靶材，由Fe∶Co的原子比为100∶0～20∶80的Fe－Co系合金构成，所述合金还含有0.2～5原子％的Al或Cr的1种或2种。另外，本发明的第二方式的软磁性靶材，由Fe∶Ni的原子比为100∶0～20∶80的Fe－Ni系合金构成，所述合金还含有0.2～5原子％的Al或Cr的1种或2种。在第一及第二方式的软磁性靶材中，上述合金能够含有30原子％以下的从B、Nb、Zr、Ta、Hf、Ti及V所构成的群中选择的1种或2种以上。
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