公开(公告)号：CN110967533A

公开(公告)日：2020-04-07

申请号：CN201811383845.8

申请日：2018-11-20

Applicant: 巨擘科技股份有限公司

Inventor： 杨之光 ,  古永延 ,  周浚雄

IPC: G01R1/073

Abstract: 一种探针卡装置，包括：一探针头，包括复数个探针，其中各该些探针包括一本体、一第一金属层形成于该本体之上、以及一第二金属层包覆该第一金属层；一多层软板，电性连接至该些探针；一支撑板，该多层软板设置于该支撑板之一第一表面；以及一电路板，电性连接至该多层软板。

公开(公告)号：CN110967533B

公开(公告)日：2022-11-08

申请号：CN201811383845.8

申请日：2018-11-20

Applicant: 巨擘科技股份有限公司

Inventor： 杨之光 ,  古永延 ,  周浚雄

IPC: G01R1/073

Abstract: 一种探针卡装置，包括：一探针头，包括复数个探针，其中各该些探针包括一本体、一第一金属层形成于该本体之上、以及一第二金属层包覆该第一金属层；一多层软板，电性连接至该些探针；一支撑板，该多层软板设置于该支撑板之一第一表面；以及一电路板，电性连接至该多层软板。

公开(公告)号：CN110970339A

公开(公告)日：2020-04-07

申请号：CN201811383863.6

申请日：2018-11-20

Applicant: 巨擘科技股份有限公司

Inventor： 周浚雄 ,  黄金煌 ,  杨之光

IPC: H01L21/683

Abstract: 一种基板分离系统及方法，该基板分离系统用于将一基板从一载板上移除并包括：一承载座，用于承载该载板；一上固定部，可上下移动地设置于该承载座之上方；一吸附部，可上下移动地设置于该承载座之上方且具有一中空部以容纳该上固定部；一切割部，设置于该承载座之一侧边；以及一吹气部，设置于该承载座之另一侧边且用于对该基板及该载板之间的位置提供一吹力。本发明具有高效率及成本低廉的优点。