一种耐高温紧固件及其制备方法

    公开(公告)号:CN114455966B

    公开(公告)日:2023-04-25

    申请号:CN202210075496.3

    申请日:2022-01-22

    摘要: 本发明公开了一种耐高温紧固件及其制备方法,先用纤维预制体制备低密度碳碳复合材料,按照设计尺寸对低密度碳碳复合材料机加工紧固件坯体,并从紧固件坯体一端开槽;之后用石墨纸将槽封闭,采用CVD工艺在紧固件外表面沉积碳化硅涂层;再将槽内的石墨纸取出,在槽内加入硅粉、碳粉的混合粉或硅粉、碳粉和锆粉的混合粉进行从内向外的反应熔渗,制得耐高温紧固件。低密度碳碳复合材料机加工易于加工,采用从一端部开槽,从内向外部反应熔渗的方法制备紧固件可以有效的避免工艺对机加工的紧固件的形状、尺寸及精度的影响,避免二次加工的损伤,且缩短了生产时间,降低了生产成本。

    一种半导体设备用聚焦环的制备方法及装置

    公开(公告)号:CN114318290A

    公开(公告)日:2022-04-12

    申请号:CN202210002396.8

    申请日:2022-01-05

    IPC分类号: C23C16/32 C23C16/44 C23C16/56

    摘要: 本发明涉及一种半导体设备用聚焦环的制备方法及装置,制备方法包括步骤一:预备沉积装置,将沉积装置置于化学气相沉积炉内;步骤二:对化学气相沉积炉进行加热,将气相沉积炉内加热至950‑1300℃,向气相沉积炉内通入甲基三氯硅烷(MTS)和氢气(H2)的混合气体;步骤三:将沉积好的固体碳化硅聚焦环与沉积装置进行分离;步骤四:抛光,将聚焦环表面进行打磨抛光制得纯度较高、气孔率低且颗粒大小均匀的聚焦环,保证了聚焦环具有较高的质量,延长了聚焦环的使用期限,有效避免刻蚀设备频繁更换聚焦环的问题,提升了生产效率。

    一种硅酸铝纤维增强气凝胶毡的制备方法及浸胶反应釜

    公开(公告)号:CN111925186A

    公开(公告)日:2020-11-13

    申请号:CN202010665648.6

    申请日:2020-07-11

    摘要: 本发明公开了一种硅酸铝纤维增强气凝胶毡的制备方法,包括以下具体步骤:取正硅酸酯、乙醇和水混合均匀,之后依次加入NH4F溶液和氨水搅拌均匀,得到二氧化硅溶胶,将硅酸铝纤维毡缠绕成卷安装于可转动的浸胶反应釜的中心轴上,在反应釜表面等距离设置有若干个注胶孔,反应釜中心轴带动硅酸铝纤维毡转动,将溶胶通过注胶孔缓慢注入纤维毡表面进行浸胶处理,静置老化,置于无水乙醇中进行溶剂置换,除去水分,干燥处后得到硅酸铝纤维增强气凝胶毡。本发明能够实现对硅酸铝纤维毡均匀柔和的浸胶,在不破坏硅酸铝纤维毡结构的前体下,实现纤维增强气凝胶毡的成卷批量化制备,操作简单方便,可控性强,制备效率高,可实现高温领域对隔热保温材料的使用需求。

    一种轻质隔热材料及其制备方法

    公开(公告)号:CN114506128B

    公开(公告)日:2023-12-01

    申请号:CN202210074969.8

    申请日:2022-01-22

    摘要: 本发明公开了一种轻质隔热材料及其制备方法,包括外层和设置于外层内部的芯层,所述外层包括第一纳米隔热层和第二纳米隔热层,所述芯层和所述第一纳米隔热层置于第二纳米隔热层的内部;所述芯层为多孔材料层,所述第二纳米隔热层中包括胶粘剂。其制备方法为先制备多孔材料芯层;将粉料、增强纤维、填料按照质量比(60 80)∶(15 30)∶(2 10)混合得到混合物料~ ~ ~a;将S2中的胶粘剂/粉料、胶粘剂/增强纤维和填料按照质量比(60~80)∶(15~30)∶(5~20)混合制得混合物料b;再对物料进行模压和热处理,最终制得表面增强的轻质隔热材料。本发明制备的轻质隔热材料不仅具有高强度,同时不破坏其隔热性能。

    一种立式卷绕制备气凝胶毡的装置及方法

    公开(公告)号:CN114622346B

    公开(公告)日:2023-06-06

    申请号:CN202210415544.9

    申请日:2022-04-20

    IPC分类号: D04H1/655 D04H1/645 D04H1/587

    摘要: 本发明提出一种立式卷绕制备气凝胶毡的装置及方法,涉及气凝胶制备技术领域,该装置包括立式注胶机构,立式注胶机构包括支撑座、卷筒和注胶针,卷筒沿竖向与支撑座转动连接,卷筒周向开设有限位通孔,注胶针穿设于限位通孔内且针头位于卷筒外,注胶针内部中空并连通胶液供给管道。该方法包括:S1、将纤维卷毡立式放卷,纤维毡与立式注胶机构的卷筒接触,注胶针刺入纤维毡的内部注胶,纤维毡通过注胶针带动卷筒沿纤维毡体滚动,纤维毡得到连续的浸渍处理;S2、浸渍处理后的湿纤维毡经过凝胶化形成凝胶毡。本发明实现了在纤维毡内部注胶,解决了立式卷绕浸胶不充分、胶液容易流失的问题,避免了平面浸渍多余胶液的溢出对产品造成外观不良的现象。