一种高纯气体柔性收集方法和装置

    公开(公告)号:CN115751172A

    公开(公告)日:2023-03-07

    申请号:CN202211427716.0

    申请日:2022-11-15

    Abstract: 本发明公开了一种高纯气体柔性收集方法和装置,包括:容器连通气体提纯设备和气体灌装设备;当气体提纯设备和气体灌装设备之间不同步,高纯气体不能顺利进入气体灌装设备,高纯气体滞留在柔性缓冲件与容器之间的高纯气体流通腔处,随着高纯气体流通腔处的高纯气体压力的变化,柔性缓冲件顺着容器移动位置,变化柔性缓冲件的体积;智能控制系统监测高纯气体流通腔处的压力和柔性缓冲件的滑动距离,柔性缓冲件、气体提纯设备和气体灌装设备之间达到平衡;克服了高纯气体的生产提纯灌装过程中,气体提纯设备将高纯气体直接输送至气体灌装设备中,两者中有其一出现问题,会导致高纯气体不能够正常输送,出现局部压力升高,存在安全隐患的技术问题。

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