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公开(公告)号：CN110647012B
公开(公告)日：2022-04-08
申请号：CN201910808592.2
申请日：2016-07-06
申请人： 应用材料以色列公司
IPC分类号： G03F7/20 , G03F7/11 , G03F1/44 , H01L21/768
摘要： 一种用于确定多层结构的层之间叠对的方法，该方法可包含以下步骤：得到代表多层结构的给定影像、得到用于多层结构的层的预期影像、提供多层结构的结合的预期影像为所述层的预期影像的结合、执行给定影像相对于结合的预期影像的配准、及提供给定影像的分割从而产生分割的影像和所述多层结构的层的图像。所述方法可进一步包含以下步骤：通过一起处理多层结构的任何两个选择的层的图像和所述两个选择的层的预期影像来确定所述两个选择的层之间的叠对。
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公开(公告)号：CN110647012A
公开(公告)日：2020-01-03
申请号：CN201910808592.2
申请日：2016-07-06
申请人： 应用材料以色列公司
IPC分类号： G03F7/20 , G03F7/11 , G03F1/44 , H01L21/768
摘要： 一种用于确定多层结构的层之间叠对的方法，该方法可包含以下步骤：得到代表多层结构的给定影像、得到用于多层结构的层的预期影像、提供多层结构的结合的预期影像为所述层的预期影像的结合、执行给定影像相对于结合的预期影像的配准、及提供给定影像的分割从而产生分割的影像和所述多层结构的层的图像。所述方法可进一步包含以下步骤：通过一起处理多层结构的任何两个选择的层的图像和所述两个选择的层的预期影像来确定所述两个选择的层之间的叠对。
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公开(公告)号：CN108027566B
公开(公告)日：2019-10-15
申请号：CN201680047092.6
申请日：2016-07-06
申请人： 应用材料以色列公司
IPC分类号： G03F7/20 , G03F7/11 , H01L21/768 , G03F1/44
摘要： 一种用于确定多层结构的层之间叠对的方法，该方法可包含以下步骤：得到代表多层结构的给定影像、得到用于多层结构的层的预期影像、提供多层结构的结合的预期影像为所述层的预期影像的结合、执行给定影像相对于结合的预期影像的配准、及提供给定影像的分割从而产生分割的影像和所述多层结构的层的图像。所述方法可进一步包含以下步骤：通过一起处理多层结构的任何两个选择的层的图像和所述两个选择的层的预期影像来确定所述两个选择的层之间的叠对。
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公开(公告)号：CN108027566A
公开(公告)日：2018-05-11
申请号：CN201680047092.6
申请日：2016-07-06
申请人： 应用材料以色列公司
IPC分类号： G03F7/20 , G03F7/11 , H01L21/768 , G03F1/44
摘要： 一种用于确定多层结构的层之间叠对的方法，该方法可包含以下步骤：得到代表多层结构的给定影像、得到用于多层结构的层的预期影像、提供多层结构的结合的预期影像为所述层的预期影像的结合、执行给定影像相对于结合的预期影像的配准、及提供给定影像的分割从而产生分割的影像和所述多层结构的层的图像。所述方法可进一步包含以下步骤：通过一起处理多层结构的任何两个选择的层的图像和所述两个选择的层的预期影像来确定所述两个选择的层之间的叠对。
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