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公开(公告)号：CN1849497A
公开(公告)日：2006-10-18
申请号：CN200480025993.2
申请日：2004-07-12
申请人： 应用材料以色列公司
IPC分类号： G01B15/04 , H01J37/28 , G01R31/305
CPC分类号： H01J37/1478 , G01B15/04 , G01N23/2251 , G01R31/307 , H01J37/28 , H01J2237/24578 , H01J2237/2487 , H01J2237/2611 , H01J2237/2814 , H01J2237/2816 , H01J2237/2817
摘要： 本发明涉及一种系统和方法，其用于测定具有次微米横断面的被测元件的横断面特征，该横断面是由位于第一断面(first traverse section)及第二断面(first traverse section)之间的中间面(intermediate section)所定义。该方法的第一步骤是以第一倾斜状态扫描一参考结构元件的第一部分及被测元件的至少第一断面，用以决定该参考结构元件与该第一断面之间的第一关系。第二步骤是以第二倾斜状态扫描参考结构元件的第二部分，及扫描被测元件的至少第二断面，用以决定该参考结构元件与该第二断面之间的第二关系。第三步骤为根据该第一及第二关系决定该被测元件的横断面特征。
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公开(公告)号：CN112868081B
公开(公告)日：2024-07-02
申请号：CN201980067805.9
申请日：2019-09-18
申请人： 应用材料以色列公司
IPC分类号： H01J37/145 , H01J37/28
摘要： 一种物镜排列，可包括磁性透镜和静电透镜。磁性透镜可包括一个或更多个线圈、上部磁极片和下部磁极片。静电透镜可包括上部电极、内部下部电极和外部下部电极。内部下部电极的主要部分可由外部下部电极的主要部分环绕。上部电极、内部下部电极和外部下部电极沿着物镜排列的光轴而以同轴关系排列。外部下部电极的底部孔洞的面积可不超过内部下部电极的底部孔洞的面积。
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公开(公告)号：CN100427883C
公开(公告)日：2008-10-22
申请号：CN200480025993.2
申请日：2004-07-12
申请人： 应用材料以色列公司
IPC分类号： G01B15/04 , H01J37/28 , G01R31/305
CPC分类号： H01J37/1478 , G01B15/04 , G01N23/2251 , G01R31/307 , H01J37/28 , H01J2237/24578 , H01J2237/2487 , H01J2237/2611 , H01J2237/2814 , H01J2237/2816 , H01J2237/2817
摘要： 本发明涉及一种系统和方法，其用于测定具有次微米横断面的被测元件的横断面特征，该横断面是由位于第一断面(first traverse section)及第二断面(first traverse section)之间的中间面(intermediate section)所定义。该方法的第一步骤是以第一倾斜状态扫描一参考结构元件的第一部分及被测元件的至少第一断面，用以决定该参考结构元件与该第一断面之间的第一关系。第二步骤是以第二倾斜状态扫描参考结构元件的第二部分，及扫描被测元件的至少第二断面，用以决定该参考结构元件与该第二断面之间的第二关系。第三步骤为根据该第一及第二关系决定该被测元件的横断面特征。
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公开(公告)号：CN112868081A
公开(公告)日：2021-05-28
申请号：CN201980067805.9
申请日：2019-09-18
申请人： 应用材料以色列公司
IPC分类号： H01J37/145 , H01J37/28
摘要： 一种物镜排列，可包括磁性透镜和静电透镜。磁性透镜可包括一个或更多个线圈、上部磁极片和下部磁极片。静电透镜可包括上部电极、内部下部电极和外部下部电极。内部下部电极的主要部分可由外部下部电极的主要部分环绕。上部电极、内部下部电极和外部下部电极沿着物镜排列的光轴而以同轴关系排列。外部下部电极的底部孔洞的面积可不超过内部下部电极的底部孔洞的面积。
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