公开(公告)号：CN113192815B

公开(公告)日：2024-10-29

申请号：CN202110492081.1

申请日：2017-01-27

申请人： ASML荷兰有限公司

发明人： 任伟明 ,  刘学东 ,  胡学让 ,  陈仲玮

IPC分类号： H01J37/06 ,  H01J37/145 ,  H01J37/147 ,  H01J37/22 ,  H01J37/28 ,  G01N23/00

摘要： 本公开的实施例涉及多个带电粒子束的装置。提出了一种具有尺寸、取向和入射角可变的总FOV的新多束装置。新装置提供了加速样本观察和使得更多样本可观察的更大灵活性。更具体地，作为在半导体制造工业中检查和/或审查晶片/掩模上的缺陷的产量管理工具，新装置提供了实现高吞吐量和检测更多种类的缺陷的更多可能性。

公开(公告)号：CN111383879B

公开(公告)日：2024-05-07

申请号：CN201911399513.3

申请日：2019-12-27

申请人： 卡尔蔡司显微镜有限责任公司

发明人： D.蔡德勒

IPC分类号： H01J37/28 ,  H01J37/145

摘要： 一种用于产生多个粒子束3的设备，该设备包括粒子源11、具有多个开口15的第一多孔板13、具有多个开口19的第二多孔板17、第一粒子透镜21、第二粒子透镜22、第三粒子透镜23以及控制器27，该控制器为第一粒子透镜21、第二粒子透镜22以及第三粒子透镜23中的每一个透镜提供可调节的激励。

公开(公告)号：CN110571116B

公开(公告)日：2023-09-01

申请号：CN201910480018.9

申请日：2019-06-04

申请人： 纽富来科技股份有限公司

发明人： 东矢高尚 ,  森田博文 ,  小笠原宗博

IPC分类号： H01J37/145 ,  H01J37/317

摘要： 本发明涉及带电粒子束描绘装置以及带电粒子束描绘方法。本实施方式的带电粒子束描绘装置具备：发射部，发射带电粒子束；第1光圈，对上述带电粒子束进行成形；照明透镜，将上述带电粒子束照射到上述第1光圈；第2光圈，对透过了上述第1光圈之后的带电粒子束进行成形；投影透镜，将透过了上述第1光圈之后的带电粒子束投影到上述第2光圈；物镜，是对透过了上述第2光圈之后的带电粒子束进行对焦的磁场型透镜；以及静电透镜，与作为描绘对象的基板的表面高度相匹配地进行带电粒子束的焦点修正，上述静电透镜配置在上述物镜内，向该静电透镜的电极施加正电压，该电极上端的该物镜的磁场强度为规定值以下。

公开(公告)号：CN115223831A

公开(公告)日：2022-10-21

申请号：CN202210379610.1

申请日：2022-04-12

申请人： ICT半导体集成电路测试有限公司

发明人： B·J·库克 ,  D·温克勒 ,  M·托曼 ,  T·凯门 ,  R·巴迪

IPC分类号： H01J37/04 ,  H01J37/14 ,  H01J37/145 ,  H01J37/147 ,  H01J37/28

摘要： 描述了一种用于用多个子束检查样本的带电粒子束设备。所述带电粒子束设备包括：带电粒子束发射器(105)，所述带电粒子束发射器用于产生沿光轴(A)传播的带电粒子束(11)；以及多子束产生和校正组件(120)，所述多子束产生和校正组件包括：第一多孔隙电极(121)，所述第一多孔隙电极具有第一多个孔隙，以用于从所述带电粒子束产生所述多个子束；至少一个第二多孔隙电极(122)，所述至少一个第二多孔隙电极具有用于所述多个子束的不同直径的第二多个孔隙，以用于提供场曲率校正；以及多个多极子(123)，所述多个多极子用于单独地影响所述多个子束中的每一者，其中所述多子束产生和校正组件(120)被配置为将所述多个子束聚焦以提供多个中间子束交叉点。所述带电粒子束设备进一步包括：物镜(150)，所述物镜用于将所述多个子束中的每一者聚焦到所述样本上的分离位置；以及单个转移透镜(130)，所述单个转移透镜布置在所述多子束产生和校正组件与所述物镜之间用于子束准直。另外，描述了一种用带电粒子束设备检查样本的方法。

公开(公告)号：CN112106168A

公开(公告)日：2020-12-18

申请号：CN201880093423.9

申请日：2018-05-22

申请人： 株式会社日立高新技术

发明人： 今井悠太 ,  笹岛正弘 ,  高鉾良浩

IPC分类号： H01J37/153 ,  H01J37/145 ,  H01J37/244

摘要： 本发明是一种具备减速光学系统的带电粒子束装置，通过抑制由物镜‑试样间的构造物引起的减速电场的变化和轴偏离，能够降低对照射系统、检测系统造成的不良影响。带电粒子束装置具有：电子源(2)；使来自电子源的探测电子束聚焦于试样(12)的物镜(4)；使探测电子束加速的加速电极(3)；设于加速电极内的第一检测器(6)；在与加速电极之间形成针对探测电子束的减速电场并且探测电子束在其开口通过的减速电极(5)；以及插入减速电极与试样之间的第二检测器(7)，第二检测器具有比减速电极的开口大的开口部(9)，并在开口部的周围设有敏感面(8)。

公开(公告)号：CN111681939A

公开(公告)日：2020-09-18

申请号：CN202010663424.1

申请日：2016-07-21

申请人： ASML荷兰有限公司

发明人： 任伟明 ,  刘学东 ,  胡学让 ,  陈仲玮

IPC分类号： H01J37/147 ,  H01J37/06 ,  H01J37/12 ,  H01J37/141 ,  H01J37/145 ,  H01J37/28

摘要： 提出了一种用于以高分辨率和高生产能力观察样本的多束装置。在该装置中，源转换单元通过使来自一个单电子源的平行初级电子束的多个小束偏转来形成该单电子源的多个且平行的图像，并且一个物镜将多个偏转的小束聚焦到样本表面上，并在样本表面上形成多个探测点。可移动聚光透镜用于使初级电子束准直，并改变多个探测点的电流，预小束形成部件弱化初级电子束的库仑效应，并且源转换单元通过最小化并补偿物镜和聚光透镜的离轴像差来最小化多个探测点的尺寸。

公开(公告)号：CN109300759A

公开(公告)日：2019-02-01

申请号：CN201811250972.0

申请日：2018-10-25

申请人： 聚束科技(北京)有限公司

发明人： 李帅 ,  何伟

IPC分类号： H01J37/145 ,  H01J37/244 ,  H01J37/26 ,  H01J37/28 ,  G01N23/203 ,  G01N23/225

摘要： 本发明公开了一种低能扫描电子显微镜系统，包括：电子源，用于产生电子束；电子加速结构，用于增加所述电子束的运动速度；复合物镜，用于对经所述电子加速结构加速的电子束进行汇聚；偏转装置，用于改变所述电子束的运动方向；探测装置，包括用于接收电子束作用于样品上产生的二次电子和背散射电子的第一子探测装置、用于接收所述背散射电子的第二子探测装置、以及用于改变所述二次电子和所述背散射电子的运动方向的控制装置；电透镜，包括第二子探测装置、样品台和控制电极，用于减小所述电子束的运动速度，并改变所述二次电子和所述背散射电子的运动方向。本发明还公开了扫描电子显微镜物镜系统及样品探测方法。

公开(公告)号：CN118248509A

公开(公告)日：2024-06-25

申请号：CN202311809425.2

申请日：2023-12-25

申请人： ICT半导体集成电路测试有限公司

发明人： B·库克 ,  P·克鲁特

IPC分类号： H01J37/145 ,  H01J37/26 ,  H01J37/28

摘要： 描述了一种用于带电粒子束装置的透镜，该透镜具有透镜部件。该透镜包括：第一磁透镜，具有上极片和中间极片；第二磁透镜，具有中间极片和下极片；第一线圈，布置在第一磁透镜内，并且用于在上极片与中间极片之间提供第一磁场；第二线圈，布置在第二磁透镜内，用于在中间极片与下极片之间提供第二磁场；以及静电透镜，具有上电极和下电极，其中由上极片限定的第一内直径和由中间极片限定的第二内直径中的至少一者大于下极片的第三内直径。

公开(公告)号：CN116246923A

公开(公告)日：2023-06-09

申请号：CN202211730763.2

申请日：2022-12-30

申请人： 广东省科学院半导体研究所

发明人： 刘珠明 ,  张衍俊 ,  李全同 ,  周洁林 ,  陈志涛

IPC分类号： H01J37/147 ,  H01J37/145

摘要： 本发明公开一种电子束聚焦偏转系统及电子束光柱体，其电子束聚焦偏转系统包括：物镜，设置在电子束光柱体内的电子束射出路径上，用于形成精细电子束束斑，照射到样品上；磁偏转器，设置在电子束射出路径上，用于对电子束产生定位作用；静电偏转器，设置在电子束射出路径上，嵌套在磁偏转器中，用于对电子束产生偏转使电子束在样品上进行扫描。本发明同时加入磁偏转器和静电偏转器，将扫描场分为两部分，一部分利用磁偏转器的像差低的特点对电子束的定位，另一部分利用静电偏转器的扫描速度高的特点对电子束偏转，结合磁偏转器和静电偏转器均置于物镜内的优点，使得整体光柱体更加紧凑、高效，能够既保证了像差精度，又能够提高扫描速度。

公开(公告)号：CN115881499A

公开(公告)日：2023-03-31

申请号：CN202211197555.0

申请日：2022-09-29

申请人： FEI 公司

发明人： A·穆罕默德-盖达里 ,  P·C·蒂梅耶 ,  A·亨斯特拉 ,  T·拉德里卡

IPC分类号： H01J37/145 ,  H01J37/28

摘要： 用于提供具有可调谐彗差的离轴电子束的电子光学模块。根据本公开的一种用于提供具有可调谐彗差的离轴电子束的电子光学模块包含：结构，所述结构定位在电子源的下游；以及电子透镜组合件，所述电子透镜组合件定位在所述结构与所述电子源之间。所述结构产生减速电场，并且被定位成防止电子沿着所述电子透镜组合件的光轴穿过。所述电子光学模块进一步包含微透镜，所述微透镜不定位在所述电子透镜组合件的所述光轴上并且被配置成向离轴电子束施加透镜效应。由所述微透镜和所述电子透镜组合件施加到所述离轴电子束的像差组合，使得所述离轴束的彗差在下游平面中具有期望值。