Patent search ap:("应用材料公司") AND inv:"伊夫林·舍尔" Page 1

1.

实用新型
用于蒸发源材料的蒸发装置、蒸发源和沉积系统有权

公开(公告)号：CN211227301U

公开(公告)日：2020-08-11

申请号：CN201920989907.3

申请日：2019-06-27

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 塞巴斯蒂安·弗兰克 , 伊夫林·舍尔 , 斯特凡·凯勒 , 安德烈亚斯·穆勒 , 佩曼·哈梅格 , 朱利安·奥巴赫

IPC: C23C14/24 , C23C14/12

Abstract: 本文描述的实施方式涉及一种用于蒸发源材料(150)的蒸发装置(100)，所述蒸发装置包括蒸发坩埚(110)和支撑布置(120)，所述支撑布置(120)具有多个材料托盘(125)，所述多个材料托盘(125)用于在所述多个材料托盘(125)上布置源材料。所述支撑布置(120)可去除地放置在所述蒸发坩埚(110)的内部体积(115)中。本文描述的实施方式还涉及一种蒸发源(200)和一种具有蒸发装置(100)的沉积系统(300)。

Patent Agency Ranking