公开(公告)号：CN114645249A

公开(公告)日：2022-06-21

申请号：CN202011521333.0

申请日：2020-12-21

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 塞巴斯蒂安·弗兰克 ,  佩曼·哈梅格 ,  安德烈亚斯·穆勒

IPC: C23C14/12 ,  C23C14/24 ,  H01L51/56

Abstract: 提供了一种用沉积设备(100)在基板(10)上沉积已蒸发源材料的方法。方法包括：从蒸气源(20)的一个或多个喷嘴(22)朝向基板(10)引导已蒸发源材料穿过布置在一个或多个喷嘴(22)与基板之间的屏蔽装置(30)；将沉积设备从沉积位置(I)输送到维护位置(II)，在所述维护位置中屏蔽装置(30)面向材料收集单元(40)；将加热单元(50)相对于屏蔽装置(30)从第一位置(a)移动到第二位置(b)，其中加热单元(50)至少在第二位置(b)中面向屏蔽装置(30)；和用加热单元(50)加热屏蔽装置(30)来清洁屏蔽装置(30)。根据另一个方面，提供了一种可以根据所描述方法操作的沉积设备。

公开(公告)号：CN211227301U

公开(公告)日：2020-08-11

申请号：CN201920989907.3

申请日：2019-06-27

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 塞巴斯蒂安·弗兰克 ,  伊夫林·舍尔 ,  斯特凡·凯勒 ,  安德烈亚斯·穆勒 ,  佩曼·哈梅格 ,  朱利安·奥巴赫

IPC: C23C14/24 ,  C23C14/12

Abstract: 本文描述的实施方式涉及一种用于蒸发源材料(150)的蒸发装置(100)，所述蒸发装置包括蒸发坩埚(110)和支撑布置(120)，所述支撑布置(120)具有多个材料托盘(125)，所述多个材料托盘(125)用于在所述多个材料托盘(125)上布置源材料。所述支撑布置(120)可去除地放置在所述蒸发坩埚(110)的内部体积(115)中。本文描述的实施方式还涉及一种蒸发源(200)和一种具有蒸发装置(100)的沉积系统(300)。