公开(公告)号：CN113811636B

公开(公告)日：2023-10-20

申请号：CN202080034855.X

申请日：2020-04-22

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 乔纳森·弗兰克尔 ,  科林·C·内科克 ,  普拉文·K·纳万克尔 ,  夸克·特伦 ,  戈文德拉·德赛 ,  塞卡尔·克里希纳萨米 ,  桑迪普·S·德赛

IPC: C23C16/455 ,  C23C16/44 ,  C23C16/442

Abstract: 一种涂覆粒子的反应器，包括：用于保持待涂覆粒子的床的固定的真空腔室，固定的真空腔室具有形成半圆柱体的下部和上部；位于腔室的上部中的真空端口；叶片组件；用于使叶片组件的驱动轴旋转的电机；用于输送第一流体的化学物质输送系统；以及第一气体注入组件，第一气体注入组件用于从化学物质输送系统接收第一流体，并且具有孔，孔被配置为将第一反应物或前驱物气体注入腔室的下部，并使得第一反应物或前驱物气体实质上与半圆柱体的弯曲内表面相切地流动。

公开(公告)号：CN113811636A

公开(公告)日：2021-12-17

申请号：CN202080034855.X

申请日：2020-04-22

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 乔纳森·弗兰克尔 ,  科林·C·内科克 ,  普拉文·K·纳万克尔 ,  夸克·特伦 ,  戈文德拉·德赛 ,  塞卡尔·克里希纳萨米 ,  桑迪普·S·德赛

IPC: C23C16/455 ,  C23C16/44 ,  C23C16/442

Abstract: 一种涂覆粒子的反应器，包括：用于保持待涂覆粒子的床的固定的真空腔室，固定的真空腔室具有形成半圆柱体的下部和上部；位于腔室的上部中的真空端口；叶片组件；用于使叶片组件的驱动轴旋转的电机；用于输送第一流体的化学物质输送系统；以及第一气体注入组件，第一气体注入组件用于从化学物质输送系统接收第一流体，并且具有孔，孔被配置为将第一反应物或前驱物气体注入腔室的下部，并使得第一反应物或前驱物气体实质上与半圆柱体的弯曲内表面相切地流动。

公开(公告)号：CN113767188B

公开(公告)日：2024-02-09

申请号：CN202080030810.5

申请日：2020-04-22

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 乔纳森·弗兰克尔 ,  科林·C·内科克 ,  普拉文·K·纳万克尔 ,  夸克·特伦 ,  戈文德拉·德赛 ,  塞卡尔·克里希纳萨米

IPC: C23C16/455 ,  C23C16/44

Abstract: 一种用于涂覆颗粒的反应器包括：固定的真空腔室，所述固定的真空腔室用于容纳待涂布的颗粒床；在腔室的上部中的真空端口；化学输送系统，所述化学输送系统经配置以将反应物气体或前驱物气体注入腔室的下部；桨叶组件；和马达，所述马达用于旋转所述桨叶组件的驱动轴。腔室的所述下部形成半圆柱体。所述桨叶组件包括：可旋转的驱动轴，所述可旋转的驱动轴沿着所述半圆柱体的轴线延伸穿过所述腔室；和多个桨叶，所述多个桨叶从所述驱动轴径向地延伸，以使得由所述马达旋转所述驱动轴的旋转使所述多个桨叶围绕所述驱动轴运行。(56)对比文件JP 2008007768 A,2008.01.17KR 101868703 B1,2018.06.18US 2003175186 A1,2003.09.18US 2004256326 A1,2004.12.23US 2008254219 A1,2008.10.16US 2015250731 A1,2015.09.10US 2017282136 A1,2017.10.05US 2019099328 A1,2019.04.04US 3946996 A,1976.03.30US 5744555 A,1998.04.28

公开(公告)号：CN117467974A

公开(公告)日：2024-01-30

申请号：CN202311284272.4

申请日：2020-04-22

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 乔纳森·弗兰克尔 ,  科林·C·内科克 ,  普拉文·K·纳万克尔 ,  夸克·特伦 ,  戈文德拉·德赛 ,  塞卡尔·克里希纳萨米 ,  桑迪普·S·德赛

IPC: C23C16/455 ,  C23C16/44 ,  C23C16/442 ,  C23C16/448

Abstract: 一种涂覆粒子的反应器，包括：用于保持待涂覆粒子的床的固定的真空腔室，固定的真空腔室具有形成半圆柱体的下部和上部；位于腔室的上部中的真空端口；叶片组件；用于使叶片组件的驱动轴旋转的电机；用于输送第一流体的化学物质输送系统；以及第一气体注入组件，第一气体注入组件用于从化学物质输送系统接收第一流体，并且具有孔，孔被配置为将第一反应物或前驱物气体注入腔室的下部，并使得第一反应物或前驱物气体实质上与半圆柱体的弯曲内表面相切地流动。

公开(公告)号：CN118103546A

公开(公告)日：2024-05-28

申请号：CN202280070043.X

申请日：2022-10-21

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 布赖恩·海斯·伯罗斯 ,  塞卡尔·克里希纳萨米 ,  阿亚纳古达·拉拉维 ,  莫妮卡·穆达尔卡 ,  戈文德拉·德赛 ,  希曼塔·库马尔·拉朱 ,  巴萨瓦拉吉·帕坦谢蒂 ,  戴维·马萨尤基·石川 ,  维斯韦斯瓦伦·西瓦拉玛克里施南 ,  施里坎特·斯瓦米纳坦 ,  马里奥·坎布朗 ,  罗伯特·纳瓦斯卡 ,  王苗君 ,  乔纳森·弗兰克尔

IPC: C23C16/44 ,  C23C16/455 ,  B01J19/00 ,  B01J3/02 ,  B01J4/00

Abstract: 一种用于涂覆颗粒的反应器，所述反应器包括可旋转反应器组件，所述可旋转反应器组件包括滚筒、入口管和出口管、静态气体入口管线、静态气体出口管线和马达，所述滚筒被配置成保持多个待涂覆颗粒，所述静态气体入口管线通过旋转入口密封件耦接至入口管，所述静态气体出口管线通过旋转出口密封件耦接至出口管，所述马达用于旋转可旋转反应器组件。

公开(公告)号：CN113767188A

公开(公告)日：2021-12-07

申请号：CN202080030810.5

申请日：2020-04-22

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 乔纳森·弗兰克尔 ,  科林·C·内科克 ,  普拉文·K·纳万克尔 ,  夸克·特伦 ,  戈文德拉·德赛 ,  塞卡尔·克里希纳萨米

IPC: C23C16/455 ,  C23C16/44

Abstract: 一种用于涂覆颗粒的反应器包括：固定的真空腔室，所述固定的真空腔室用于容纳待涂布的颗粒床；在腔室的上部中的真空端口；化学输送系统，所述化学输送系统经配置以将反应物气体或前驱物气体注入腔室的下部；桨叶组件；和马达，所述马达用于旋转所述桨叶组件的驱动轴。腔室的所述下部形成半圆柱体。所述桨叶组件包括：可旋转的驱动轴，所述可旋转的驱动轴沿着所述半圆柱体的轴线延伸穿过所述腔室；和多个桨叶，所述多个桨叶从所述驱动轴径向地延伸，以使得由所述马达旋转所述驱动轴的旋转使所述多个桨叶围绕所述驱动轴运行。