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公开(公告)号：CN114830313A
公开(公告)日：2022-07-29
申请号：CN202080087669.2
申请日：2020-12-11
Applicant: 应用材料公司
IPC: H01L21/67 , H01L21/687 , H01L21/027 , G03F7/38 , G03F7/40
Abstract: 本公开内容的实施方式涉及用于处置和均匀烘烤基板的烘烤设备以及用于处置和均匀烘烤基板的方法。烘烤设备允许将基板加热到大于50℃的温度，而没有从基板的边缘到基板的中心的约1mm至约2mm的弯曲。烘烤设备均匀地或实质均匀地加热基板以改善基板品质。
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