公开(公告)号：CN108603291B

公开(公告)日：2023-11-14

申请号：CN201680081594.0

申请日：2016-02-12

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 尼尔·莫里森 ,  于尔根·亨里奇 ,  弗洛里安·里斯 ,  托拜厄斯·斯托利 ,  德烈亚斯·索尔 ,  沃尔夫冈·布什贝克

IPC: C23C16/54 ,  C23C14/56

Abstract: 提供一种用于柔性基板的真空处理系统(100)。真空处理系统(100)包括：第一腔室(110)，适于容纳供应卷(111)以用于提供柔性基板；第二腔室(120)，适于容纳收紧卷(121)以用于在处理之后存储柔性基板(160)；基板运输布置，包括用于将柔性基板从第一腔室(110)引导到第二腔室(120)的一个或多个引导辊(104)；维护区(130)，在第一腔室(110)与第二腔室(120)之间，其中维护区(130)允许通向或属于第一腔室(110)和第二腔室(120)中的至少一个腔室的维护通道；和第一处理腔室(140)，用于处理柔性基板(10)。

公开(公告)号：CN108603291A

公开(公告)日：2018-09-28

申请号：CN201680081594.0

申请日：2016-02-12

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 尼尔·莫里森 ,  于尔根·亨里奇 ,  弗洛里安·里斯 ,  托拜厄斯·斯托利 ,  德烈亚斯·索尔 ,  沃尔夫冈·布什贝克

IPC: C23C16/54 ,  C23C14/56

Abstract: 提供一种用于柔性基板的真空处理系统(100)。真空处理系统(100)包括：第一腔室(110)，适于容纳供应卷(111)以用于提供柔性基板；第二腔室(120)，适于容纳收紧卷(121)以用于在处理之后存储柔性基板(160)；基板运输布置，包括用于将柔性基板从第一腔室(110)引导到第二腔室(120)的一个或多个引导辊(104)；维护区(130)，在第一腔室(110)与第二腔室(120)之间，其中维护区(130)允许通向或属于第一腔室(110)和第二腔室(120)中的至少一个腔室的维护通道；和第一处理腔室(140)，用于处理柔性基板(10)。