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公开(公告)号：CN118556275A
公开(公告)日：2024-08-27
申请号：CN202380017462.1
申请日：2023-01-18
Applicant: 应用材料公司
Inventor： 王腾懋 , 林政源 , 安翔
IPC: H01J37/32
Abstract: 提供了一种处理配件。该处理配件包括：基板支撑件；以及一个或多个电气连接器，每个电气连接器附接到基板支撑件，每个电气连接器包括：管；轴件，包括边缘，边缘在管内侧定位，轴件包括在边缘之上的第一部分及在边缘之下的第二部分，其中第一部分的至少部分经配置为在管外侧移动，并且第二部分在管内侧；以及密封件，其中边缘直接在密封件的至少一部分下面。
