公开(公告)号：CN117355627A

公开(公告)日：2024-01-05

申请号：CN202280036157.2

申请日：2022-05-16

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 普拉桑纳卡莱什瓦拉·布达帕·拉马钱德拉帕 ,  山布·纳特·昆杜 ,  维森特·M·林 ,  维斯韦斯瓦伦·西瓦拉玛克里施南 ,  苏布拉曼亚·P·赫尔勒

IPC: C23C14/24

Abstract: 提供了用于以固定体积输送熔融金属和金属合金的方法和系统。该系统包括具有流体入口端口的蒸发系统和流体输送系统。流体输送系统包括可操作以容纳源材料的安瓿。安瓿包括流体出口端口和气体入口端口。流体输送系统进一步包括流体输送管线，该流体输送管线可操作以将源材料输送到蒸发系统。流体输送管线包括与流体出口端口流体耦接的第一端以及与流体入口端口流体耦接的第二端。流体输送管线进一步包括沿流体输送管线设置的第一隔离阀和沿流体输送管线设置的第二隔离阀，第一隔离阀和第二隔离阀界定流体输送管线的一固定体积。

公开(公告)号：CN112703271A

公开(公告)日：2021-04-23

申请号：CN201980057736.3

申请日：2019-08-20

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 苏布拉曼亚·P·赫尔勒 ,  维森特·M·林 ,  巴萨瓦拉吉·帕坦谢蒂 ,  阿杰·茂 ,  马可·莫尔 ,  比约恩·斯蒂克瑟-韦斯 ,  奈尔施·奇尔曼奥·巴古 ,  维斯韦斯瓦伦·西瓦拉玛克里施南

IPC: C23C16/448 ,  C23C16/52 ,  C23C16/455 ,  C23C16/40 ,  C23C16/50 ,  H01M4/04

Abstract: 提供一种用于将化学前驱物直接液体注射(DLI)到处理腔室中的方法和设备。DLI系统包括液体前驱物源汽化系统，所述系统稳定并且有效地使液体汽化。在一个实施方式中，DLI系统是闭环集成系统，所述闭环集成系统将注射阀(IV)连同液体流量计(LFM)、作为加压前驱物源的安瓿组件、用于加压安瓿组件中的前驱物的惰性推进气体、用于维持目标温度状况的温度控制器、泄漏检测和到气体加热器的受控载气流量进行组合。

公开(公告)号：CN117795120A

公开(公告)日：2024-03-29

申请号：CN202280054883.7

申请日：2022-08-04

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 山布·昆杜 ,  普拉桑纳卡莱什瓦拉·布达帕·拉马钱德拉帕 ,  维森特·M·林 ,  苏布拉曼亚·P·赫尔勒 ,  维斯韦斯瓦伦·西瓦拉玛克里施南

IPC: C23C14/24 ,  C23C14/56

Abstract: 提供了一种用于进行热蒸发的方法和装置。热蒸发器包括扁平坩埚设计，相对于传统设计，它提供了用于蒸发要沉积的材料的增加的表面面积。增加用于蒸发的表面面积意味着，可以产生更多的蒸发材料的蒸气，这会增加蒸发器主体内部的压力，导致蒸发材料流出喷嘴的流量增加。扁平坩埚可以与热蒸发器的蒸发器主体附接。扁平坩埚可以整合在蒸发器主体内。蒸发器主体可以包括多个纵向凹槽，这些凹槽增加了蒸发器主体的表面面积。热蒸发器可以包括多个挡板，这些挡板将热蒸发器分成单独的隔室。