公开(公告)号：CN114981632A

公开(公告)日：2022-08-30

申请号：CN202080092811.2

申请日：2020-12-14

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 徐永安 ,  邢婵娟 ,  傅晋欣 ,  卢多维克·戈代

IPC: G01M11/02 ,  G01M11/00

Abstract: 本文公开了用于确定光栅或线特征的线角度及线角度旋转的方法及设备。本公开内容的一个方面涉及，使用测量工具来测量第一线特征的坐标点，从所述坐标点确定所述第一线特征的第一斜率，及从所述第一线特征的所述斜率确定第一线角度。能重复此过程以找出相邻于所述第一线特征的第二线特征的第二斜率。能比较所述第一线特征与所述第二线特征的斜率来找出线角度旋转。所述线角度旋转与设计规格进行比较，来确定拼接品质。

公开(公告)号：CN114556409A

公开(公告)日：2022-05-27

申请号：CN202080071132.7

申请日：2020-09-14

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 徐永安 ,  邢婵娟 ,  傅晋欣 ,  王诣斐 ,  韦恩·麦克米兰 ,  卢多维克·戈代

IPC: G06T3/00 ,  G02B27/01

Abstract: 本公开内容之实施方式包括裸片系统与比较对准向量的方法。该裸片系统包括以期望图案排列的多个裸片。能够从该裸片的边缘特征确定对准向量，诸如裸片向量。这些对准向量能够与相同系统中的其他裸片或裸片图案比较。一种比较裸片与裸片图案的方法包括：比较裸片向量和/或图案向量。对准向量之间的比较允许为下一轮的处理固定裸片图案。所提供的方法允许刚沉积的边缘特征之间的准确比较，使得能够实现准确的裸片拼接。