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发明公开
用于腔室部件保护的氧氟化合物审中-实审

公开(公告)号：CN113518835A

公开(公告)日：2021-10-19

申请号：CN202080017920.8

申请日：2020-02-26

申请人： 应用材料公司

发明人： N·迪帕克 , S·C·赛斯 , P·S·古拉迪雅 , G·巴贾杰 , D·塔卡尔 , J·Y·孙 , G·纳图

IPC分类号： C23C16/455 , C23C16/30 , C23C16/44 , H01J37/32

摘要： 本文描述的实施例提供形成非晶氟化金属膜的方法。该方法包括：将物体定位在具有处理区域的原子层沉积(ALD)腔室中；使用原子层沉积(ALD)工艺在物体上沉积含金属氧化物层；使用活化氟化工艺在含金属氧化物层上沉积金属氟层；及重复沉积含金属氧化物层和沉积含金属氧化物层，直到形成具有预定膜厚度的氟化金属膜为止。活化氟化工艺包括将氟前驱物(FP)的第一流引入处理区域。FP包括至少一种有机氟试剂或至少一种氟化气体。