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公开(公告)号：CN101437979B
公开(公告)日：2012-01-18
申请号：CN200780016255.5
申请日：2007-05-02
申请人： 应用材料公司
IPC分类号： C23C16/00
CPC分类号： C23C16/46 , C23C16/45578 , H01L21/67109
摘要： 本发明揭示一种用于对晶片进行批处理的设备(300)。在一实施例中，此批处理设备包括一钟形罐熔炉，该钟形罐熔炉具有一扩散器，该扩散器被设置在多个气体入口(326)与该熔炉内的基板之间，以引导流体在腔内环绕着基板圆周流动。
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公开(公告)号：CN105474362B
公开(公告)日：2018-05-25
申请号：CN201480045378.1
申请日：2014-08-15
申请人： 应用材料公司
IPC分类号： H01L21/205 , H01L21/02
CPC分类号： H01J37/32091 , H01J37/32357 , H01J37/32513 , H01J37/32541 , H01J37/32568
摘要： 描述了一种用于处理腔室的模块化等离子体源组件。所述组件包括RF热电极且具有邻接电极的侧而定位的端部电介质和滑动式接地连接件。密封箔将滑动式接地连接件连接至外壳以提供接地的滑动式接地连接件，所述接地的滑动式接地连接件通过端部电介质与热电极分开。同轴馈送线穿过导管而进入与处理环境隔离的RF热电极，使得当等离子体处理区域处于减小的压力下时，同轴RF馈送线处于大气压力下。
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公开(公告)号：CN105474362A
公开(公告)日：2016-04-06
申请号：CN201480045378.1
申请日：2014-08-15
申请人： 应用材料公司
IPC分类号： H01L21/205 , H01L21/02
CPC分类号： H01J37/32091 , H01J37/32357 , H01J37/32513 , H01J37/32541 , H01J37/32568
摘要： 描述了一种用于处理腔室的模块化等离子体源组件。所述组件包括RF热电极且具有邻接电极的侧而定位的端部电介质和滑动式接地连接件。密封箔将滑动式接地连接件连接至外壳以提供接地的滑动式接地连接件，所述接地的滑动式接地连接件通过端部电介质与热电极分开。同轴馈送线穿过导管而进入与处理环境隔离的RF热电极，使得当等离子体处理区域处于减小的压力下时，同轴RF馈送线处于大气压力下。
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