公开(公告)号：CN103003915A

公开(公告)日：2013-03-27

申请号：CN201180034908.9

申请日：2011-06-22

申请人： 应用材料公司

发明人： A·洛珀 ,  J·格里尔梅耶 ,  W·克罗克

IPC分类号： H01J37/34

CPC分类号： H01J37/3405 ,  H01J37/342 ,  H01J37/345 ,  H01J37/3452 ,  H01J37/3461

摘要： 本文关于用于溅射系统的磁铁配置(800,900,1000)，其中磁铁配置适于溅射系统的可旋转靶材(126a,126b)并包含：第一磁铁元件(810,910,1010)，所述第一磁铁元件沿第一轴(X)延伸；第二磁铁元件(820,920,1020)，所述第二磁铁元件环绕第一磁铁元件与第一平面(A)对称地设置；其中第二磁铁元件包含至少一个扇区(826,827,926,927,1028)，所述至少一个扇区与第一平面相交；且其中至少一个扇区的磁轴(822,922,1022)相对第二平面(B)而倾斜，所述第二平面与第一轴(X)正交。此外，本文关于用于溅射系统的可旋转靶材的靶材背管、用于溅射系统的圆柱状可旋转靶材及溅射系统。

公开(公告)号：CN103003915B

公开(公告)日：2016-09-07

申请号：CN201180034908.9

申请日：2011-06-22

申请人： 应用材料公司

发明人： A·洛珀 ,  J·格里尔梅耶 ,  W·克罗克

IPC分类号： H01J37/34

CPC分类号： H01J37/3405 ,  H01J37/342 ,  H01J37/345 ,  H01J37/3452 ,  H01J37/3461

摘要： 本文关于用于溅射系统的磁铁配置(800,900,1000)，其中磁铁配置适于溅射系统的可旋转靶材(126a,126b)并包含：第一磁铁元件(810,910,1010)，所述第一磁铁元件沿第一轴(X)延伸；第二磁铁元件(820,920,1020)，所述第二磁铁元件环绕第一磁铁元件与第一平面(A)对称地设置；其中第二磁铁元件包含至少一个扇区(826,827,926,927,1028)，所述至少一个扇区与第一平面相交；且其中至少一个扇区的磁轴(822,922,1022)相对第二平面(B)而倾斜，所述第二平面与第一轴(X)正交。此外，本文关于用于溅射系统的可旋转靶材的靶材背管、用于溅射系统的圆柱状可旋转靶材及溅射系统。