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公开(公告)号：CN118435313A
公开(公告)日：2024-08-02
申请号：CN202280084144.2
申请日：2022-10-30
Applicant: 应用材料股份有限公司
IPC: H01J37/317
Abstract: 一种用于将束阻挡器紧固到提取板的紧固组合件，所述紧固组合件包括：安装销，具有轴部分、位于轴部分的第一端部处的基座部分及位于轴部分的第二端部处的头部部分；定心套筒，在径向上环绕轴部分且在轴向上与基座部分邻接，所述定心套筒在轴部分与提取板之间以及轴部分与束阻挡器之间可在径向上被压缩；环形的间隔件，环绕定心套筒且在轴向上与束阻挡器邻接，所述定心套筒局部地延伸到间隔件中；以及闩锁顶盖，环绕轴部分且在轴向上与间隔件邻接，所述轴部分延伸穿过闩锁顶盖的贯穿孔，所述贯穿孔在与安装销的轴线垂直的方向上小于头部部分。
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公开(公告)号：CN118103940A
公开(公告)日：2024-05-28
申请号：CN202280068986.9
申请日：2022-08-26
Applicant: 应用材料股份有限公司
Inventor： 科斯特尔·拜洛 , 杰伊·R·沃利斯 , 所罗门·拜兰格迪·巴萨姆 , 凯文·R·安葛林 , 泰勒·洛克威尔
Abstract: 一种提取组合件可包括提取板，所述提取板用于沿着等离子体腔室的侧放置并且具有沿着第一方向伸长的提取开孔且具有沿着与第一方向垂直的第二方向延伸的开孔高度。所述提取板对位于第一平面中的沿着提取开孔的内表面进行界定。束阻挡器设置在提取开孔之上且具有设置在与第一平面不同的第二平面中的外表面。这样一来，所述束阻挡器沿着提取开孔的第一边缘与提取板重叠达第一重叠距离且沿着提取开孔的第二边缘与提取板重叠达第二重叠距离，以对沿着第一边缘的第一提取狭缝及沿着第二边缘的第二提取狭缝进行界定。
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