公开(公告)号：CN111699542B

公开(公告)日：2023-05-16

申请号：CN201880085338.8

申请日：2018-11-29

申请人： 康姆艾德技术美国分公司

发明人： 欧阳亮 ,  丹尼尔·卡塔兰 ,  安东尼·奥利蒂

IPC分类号： H01J37/32 ,  H03H7/40

摘要： 一种物理气相沉积系统可包括RF发生器，该RF发生器被配置为经由RF匹配网络将交流工艺信号传输到物理气相沉积室。RF匹配网络的控制器被配置为接收直流幅度和相位误差信号，并且响应于直流幅度和相位误差信号来改变RF匹配网络的阻抗。匹配网络在第一模式下操作，直到确定调谐死区。一旦确定了调谐死区，匹配网络就在附加模式下操作，直到网络被调谐。控制器使用幅度和相位误差的合成值来驱动可变调谐和负载电容器。

公开(公告)号：CN111699542A

公开(公告)日：2020-09-22

申请号：CN201880085338.8

申请日：2018-11-29

申请人： 康姆艾德技术美国分公司

发明人： 欧阳亮 ,  丹尼尔·卡塔兰 ,  安东尼·奥利蒂

IPC分类号： H01J37/32 ,  H03H7/40

摘要： 一种物理气相沉积系统可包括RF发生器，该RF发生器被配置为经由RF匹配网络将交流工艺信号传输到物理气相沉积室。RF匹配网络的控制器被配置为接收直流幅度和相位误差信号，并且响应于直流幅度和相位误差信号来改变RF匹配网络的阻抗。匹配网络在第一模式下操作，直到确定调谐死区。一旦确定了调谐死区，匹配网络就在附加模式下操作，直到网络被调谐。控制器使用幅度和相位误差的合成值来驱动可变调谐和负载电容器。