公开(公告)号：CN111386443A

公开(公告)日：2020-07-07

申请号：CN201880075749.9

申请日：2018-09-26

申请人： 微-埃普西龙测量技术有限两合公司

发明人： 托马斯·惠斯宾特纳 ,  哈拉尔德·哈斯 ,  托比亚斯·斯科普夫 ,  莱因霍尔德·霍尼卡

IPC分类号： G01D11/24

摘要： 关于使用构造简单的装置在高温范围内进行可靠的测量，提供了一种非接触式工作的路程传感器，具有适合于高温的传感器元件(1)并且具有与所述传感器元件(1)电耦合并带有控制电子器件和/或评估电子器件的电子器件，其特征在于，所述电子器件被设计用于高于125℃的温度范围并直接与所述传感器元件(1)连接或集成到所述传感器元件(1)中。

公开(公告)号：CN116941170A

公开(公告)日：2023-10-24

申请号：CN202280017763.X

申请日：2022-02-22

申请人： 微-埃普西龙测量技术有限两合公司

发明人： 哈拉尔德·哈斯 ,  赖因霍尔德·霍尼奇卡 ,  托比亚斯·斯科普夫 ,  古恩特·沙尔默瑟

IPC分类号： H02K29/12

摘要： 一种致动器‑传感器系统，用于使得电磁辐射在至少一个轴(9)上受调控地偏转或转向，具有用于机械地移调偏转元件(10)的致动器(5)，以及具有用于检测所述偏转元件(10)的位置的测量元件(2)，其特征在于，所述测量元件(2)由平坦的基板(3)组成，该基板包括至少一个传感器元件(4)。此外，本发明涉及一种快速转向镜(FSM)。