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发明公开
致动器-传感器系统和具有这种致动器-传感器系统的快速转向镜(FSM) 审中-公开

公开(公告)号：CN116941170A

公开(公告)日：2023-10-24

申请号：CN202280017763.X

申请日：2022-02-22

申请人： 微-埃普西龙测量技术有限两合公司

发明人： 哈拉尔德·哈斯 , 赖因霍尔德·霍尼奇卡 , 托比亚斯·斯科普夫 , 古恩特·沙尔默瑟

IPC分类号： H02K29/12

摘要： 一种致动器‑传感器系统，用于使得电磁辐射在至少一个轴(9)上受调控地偏转或转向，具有用于机械地移调偏转元件(10)的致动器(5)，以及具有用于检测所述偏转元件(10)的位置的测量元件(2)，其特征在于，所述测量元件(2)由平坦的基板(3)组成，该基板包括至少一个传感器元件(4)。此外，本发明涉及一种快速转向镜(FSM)。