公开(公告)号：CN110148559A

公开(公告)日：2019-08-20

申请号：CN201910398689.0

申请日：2019-05-14

申请人： 德淮半导体有限公司

发明人： 韦伟 ,  洪纪伦 ,  吴宗祐 ,  林宗贤

IPC分类号： H01L21/265 ,  H01L21/324

摘要： 本发明提供一种半导体工艺方法,包括如下步骤：对待处理材料层进行离子注入；于离子注入后的待处理材料层的表面形成离子扩散阻挡层；将表面形成有离子扩散阻挡层的待处理材料层进行退火处理。本发明的半导体工艺方法通过首先在离子注入后的待处理材料层的表面形成离子扩散阻挡层，再将离子注入后的待处理材料层进行退火处理，在退火处理过程中，离子扩散阻挡层可以阻挡离子的扩散，从而避免离子扩散至快速热退火机台的腔室内，不会在快速热退火机台的腔室内壁造成附着，可以确保温度探测装置准确探测快速热退火机台的腔室内的温度，降低产品的报废率；同时，还可以降低快速热退火机台的维护频率，从而节约人力物力。

公开(公告)号：CN109884085B

公开(公告)日：2021-11-30

申请号：CN201910114619.8

申请日：2019-02-14

申请人： 德淮半导体有限公司

发明人： 韦伟 ,  洪纪伦 ,  吴宗祐 ,  林宗贤

IPC分类号： G01N21/958 ,  G01N21/95 ,  H01L21/67

摘要： 一种设备检测装置及其工作方法、半导体设备，设备检测装置包括：保护板；设置于保护板侧壁的多个分立发射单元，所述发射单元用于向保护板内发射第一信号；设置于保护板侧壁的多个分立接收单元，所述接收单元用于接收第二信号，所述第二信号为第一信号穿透保护板衰减后的信号，且各接收单元与各发射单元一一对应；数据处理单元，用于通过第二信号获取保护板的裂纹信息。半导体设备包括：腔体；位于腔体内的基座，用于承载待测物体；腔体盖，用于加热腔体；位于腔体盖内的加热装置，用于提供热能；上述任意一种设备检测装置，所述设备检测装置位于加热装置和基座之间，用于保护加热装置。所述设备检测装置的性能得到提高。

公开(公告)号：CN110379763A

公开(公告)日：2019-10-25

申请号：CN201910676495.2

申请日：2019-07-25

申请人： 德淮半导体有限公司

发明人： 韦伟 ,  洪纪伦 ,  吴宗祐 ,  林宗贤

IPC分类号： H01L21/762 ,  H01L27/146

摘要： 一种沟槽隔离结构及图像传感器的形成方法，其中沟槽隔离结构的形成方法包括：提供半导体衬底；在所述半导体衬底内形成沟槽；对所述沟槽进行表面处理，去除所述沟槽侧壁表面和底部表面的缺陷；在所述表面处理之后，采用沉积工艺在所述沟槽的底部表面与侧壁表面形成界面层，所述沉积工艺的温度低于预设温度；在所述界面层表面形成填充层，所述填充层填满所述沟槽。本发明的技术方案通过先对所述沟槽进行表面处理，能去除所述沟槽的表面的缺陷，减小暗电流；再在低温的制程下形成所述界面层，有效的减小了晶圆发生翘曲变形以及金属污染的可能性，从而提高最终成品的性能与良率。

公开(公告)号：CN109884085A

公开(公告)日：2019-06-14

申请号：CN201910114619.8

申请日：2019-02-14

申请人： 德淮半导体有限公司

发明人： 韦伟 ,  洪纪伦 ,  吴宗祐 ,  林宗贤

IPC分类号： G01N21/958 ,  G01N21/95 ,  H01L21/67

摘要： 一种设备检测装置及其工作方法、半导体设备，设备检测装置包括：保护板；设置于保护板侧壁的多个分立发射单元，所述发射单元用于向保护板内发射第一信号；设置于保护板侧壁的多个分立接收单元，所述接收单元用于接收第二信号，所述第二信号为第一信号穿透保护板衰减后的信号，且各接收单元与各发射单元一一对应；数据处理单元，用于通过第二信号获取保护板的裂纹信息。半导体设备包括：腔体；位于腔体内的基座，用于承载待测物体；腔体盖，用于加热腔体；位于腔体盖内的加热装置，用于提供热能；上述任意一种设备检测装置，所述设备检测装置位于加热装置和基座之间，用于保护加热装置。所述设备检测装置的性能得到提高。

公开(公告)号：CN209029330U

公开(公告)日：2019-06-25

申请号：CN201821689947.8

申请日：2018-10-17

申请人： 德淮半导体有限公司

发明人： 韦伟 ,  洪纪伦 ,  吴宗祐 ,  林宗贤

IPC分类号： H01J37/317 ,  H01J37/05

摘要： 本实用新型提供了一种离子束筛选器，包括：具有第一孔的底板、具有第二孔的遮挡板，所述第一孔的孔径大于所述第二孔的孔径，所述遮挡板能够相对于底板移动，所述遮挡板覆盖所述底板的第一孔时，切换第二孔工作；所述遮挡板未覆盖所述底板的第一孔时，切换第一孔工作；还提供了一种离子植入机，包括：离子源、离子束筛选器以及如离子束分离器。在本实用新型提供的离子束筛选器和离子植入机中，通过离子束筛选器筛选出不同电流的离子束，适用于不同的机台对不同电流的离子束的需求。并且本实用新型通过控制器自动控制遮挡板的移动，实现电子束通过第一孔或第二孔的切换，从而自动筛选出不同电流的离子束。