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公开(公告)号：CN106399978B
公开(公告)日：2019-05-28
申请号：CN201611148513.2
申请日：2012-12-14
申请人： 德雷卡通信技术公司
发明人： I·米利塞维克 , M·J·N·范斯特拉伦 , J·A·哈特苏伊克
IPC分类号： C23C16/511
CPC分类号： C23C16/511 , C03B37/0183 , H01J37/32247
摘要： 本发明涉及一种用于执行等离子体化学气相沉积工艺的方法。包括以下步骤：提供设备，该设备包括大体上为圆柱形的共振器，该共振器具备外圆柱壁，该外圆柱壁包围围绕圆柱轴线沿圆周方向延伸的共振腔，该共振器还具备在圆柱方向限界共振腔的侧壁部分，并且具备在沿圆周方向围绕圆柱轴线延伸的狭缝结构，该狭缝结构提供从共振腔径向向内的入口，其中该狭缝结构包括在圆柱方向相互偏移的多个狭缝部分，将衬底管从所述共振腔径向向内地容纳在管状内部空间中，将微波注入到所述共振腔中，以及使所述衬底管相对于所述共振器的圆柱轴线旋转。
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公开(公告)号：CN103122455B
公开(公告)日：2017-05-24
申请号：CN201210480714.8
申请日：2012-11-16
申请人： 德雷卡通信技术公司
发明人： M·J·N·范斯特拉伦 , I·米利塞维克 , J·A·哈特苏伊克
CPC分类号： C23C16/511 , C03B37/0183 , H01J37/32229 , H01J37/32256
摘要： 本发明涉及一种用于执行等离子体化学气相沉积过程的装置。该装置包括大体圆柱形的谐振器，该谐振器设有包围谐振腔的圆柱形外壁，谐振腔具有相对于圆柱轴线基本上旋转对称的形状。谐振器还包括在相对的圆柱轴线的方向上限制谐振腔的侧壁部。另外，该装置包括穿过圆柱形外壁延伸到谐振腔中的微波波导部。谐振腔在圆柱方向上的长度根据到圆柱轴线的径向距离变化。
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公开(公告)号：CN103160808A
公开(公告)日：2013-06-19
申请号：CN201210599133.6
申请日：2012-12-14
申请人： 德雷卡通信技术公司
发明人： I·米利塞维克 , M·J·N·范斯特拉伦 , J·A·哈特苏伊克
IPC分类号： C23C16/44
CPC分类号： C23C16/511 , C03B37/0183 , H01J37/32247
摘要： 本发明涉及一种用于执行等离子体化学气相沉积工艺的设备。该设备包括大体上为圆柱形的共振器，该圆柱形共振器具备外圆柱壁，该外圆柱壁包围围绕圆柱轴线沿圆周方向延伸的共振腔。该共振器还具备在圆柱方向限界共振腔的侧壁部分，并且具备在沿圆周方向围绕圆柱轴线延伸的狭缝结构，该狭缝结构提供从共振腔径向向内的入口。此外，该狭缝结构包括在圆柱方向相互偏移的多个狭缝部分。
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公开(公告)号：CN101293732B
公开(公告)日：2012-12-26
申请号：CN200810091296.7
申请日：2008-04-28
申请人： 德雷卡通信技术公司
发明人： J·A·哈特苏伊克 , I·米利克维克 , M·J·N·范斯特拉伦 , R·H·M·德克斯 , M·科尔斯滕
IPC分类号： C03B37/018 , C03B37/02
CPC分类号： C03B37/0183 , Y10T428/131
摘要： 一种用于通过气相沉积过程制造光纤预制件的方法，其中创建等离子体条件，并且其中该等离子体在中空衬底管供给侧附近的反转点和排放侧附近的反转点之间沿着中空衬底管的纵向轴线来回移动，从而与一个阶段相关的烟灰沉积发生的位置在轴线方向上和与其他一个或者多个阶段相关的烟灰沉积发生的位置隔开。
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公开(公告)号：CN101333068A
公开(公告)日：2008-12-31
申请号：CN200810144666.9
申请日：2008-06-30
申请人： 德雷卡通信技术公司
发明人： J·A·哈特休克 , I·米利塞维克 , M·J·N·范斯特拉伦 , R·H·M·德克尔斯 , M·科斯滕
IPC分类号： C03B37/018 , C03B37/025
CPC分类号： C03B37/0183 , C03B2201/12 , C03B2201/31 , C03B2203/23
摘要： 本发明涉及一种通过气相沉积工艺制备光纤预制件的方法，其中建立等离子体条件且其中等离子体沿空心基管的纵轴在空心基管靠近输入侧的反转点和靠近排放侧的反转点之间前后移动，其中在一相沉积和另一相沉积之间进行过渡沉积。
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公开(公告)号：CN101333067A
公开(公告)日：2008-12-31
申请号：CN200810127354.7
申请日：2008-06-27
申请人： 德雷卡通信技术公司
发明人： J·A·哈特休克 , I·米利塞维克 , M·J·N·范斯特拉伦 , R·H·M·德克尔斯 , M·科斯滕
IPC分类号： C03B37/018
CPC分类号： C03B37/0183 , C03B37/01815 , C03B2201/12 , C03B2201/31
摘要： 本发明涉及一种方法，用于通过气相沉积工艺来制造光纤预制件，其中在一个沉积阶段和下一个或多个沉积阶段之间执行中间步骤，该中间步骤包括向中空衬底管的供给侧提供蚀刻气体。
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公开(公告)号：CN101172751A
公开(公告)日：2008-05-07
申请号：CN200710182126.5
申请日：2007-09-10
申请人： 德雷卡通信技术公司
发明人： R·H·M·达克斯 , M·J·N·范斯特拉伦 , J·A·哈特苏伊克
IPC分类号： C03B8/04
CPC分类号： C03B37/0183
摘要： 本发明涉及一种通过在基管内进行一个或多个化学气相沉积反应来制备光学预制件的方法，所述方法包括以下步骤：i)向基管提供一种或多种已掺杂的或未掺杂的玻璃成形前体，以及ii)在基管中引发步骤i)中提供的反应物之间的反应，使得基管内部上形成一个或多个玻璃层，其中步骤ii)包括仅创建在基管内部中的脉冲等离子区。
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公开(公告)号：CN103160808B
公开(公告)日：2017-04-26
申请号：CN201210599133.6
申请日：2012-12-14
申请人： 德雷卡通信技术公司
发明人： I·米利塞维克 , M·J·N·范斯特拉伦 , J·A·哈特苏伊克
IPC分类号： C23C16/44
CPC分类号： C23C16/511 , C03B37/0183 , H01J37/32247
摘要： 本发明涉及一种用于执行等离子体化学气相沉积工艺的设备。该设备包括大体上为圆柱形的共振器，该圆柱形共振器具备外圆柱壁，该外圆柱壁包围围绕圆柱轴线沿圆周方向延伸的共振腔。该共振器还具备在圆柱方向限界共振腔的侧壁部分，并且具备在沿圆周方向围绕圆柱轴线延伸的狭缝结构，该狭缝结构提供从共振腔径向向内的入口。此外，该狭缝结构包括在圆柱方向相互偏移的多个狭缝部分。
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公开(公告)号：CN101333067B
公开(公告)日：2013-10-23
申请号：CN200810127354.7
申请日：2008-06-27
申请人： 德雷卡通信技术公司
发明人： J·A·哈特休克 , I·米利塞维克 , M·J·N·范斯特拉伦 , R·H·M·德克尔斯 , M·科斯滕
IPC分类号： C03B37/018
CPC分类号： C03B37/0183 , C03B37/01815 , C03B2201/12 , C03B2201/31
摘要： 本发明涉及一种方法，用于通过气相沉积工艺来制造光纤预制件，其中在一个沉积阶段和下一个或多个沉积阶段之间执行中间步骤，该中间步骤包括向中空衬底管的供给侧提供蚀刻气体。
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公开(公告)号：CN101298664B
公开(公告)日：2011-11-09
申请号：CN200810125813.8
申请日：2008-04-30
申请人： 德雷卡通信技术公司
发明人： M·J·N·范斯特拉伦 , I·米利克维克 , J·A·哈特苏伊克
CPC分类号： C03B37/01823 , C03B2201/12 , C03B2201/31
摘要： 本发明涉及一种用于执行等离子体化学气相沉积的装置，依靠该装置，一层或多层掺杂或未掺杂的氧化硅沉积到细长的中空玻璃衬底管的内部。本发明进一步涉及通过等离子体化学气相沉积来制造光学预制件的方法，其中使掺杂或未掺杂的玻璃成形气体通过细长玻璃衬底管的内部，同时在衬底管的内部建立使得玻璃层的沉积发生的条件。
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