公开(公告)号：CN107619018A

公开(公告)日：2018-01-23

申请号：CN201710550473.2

申请日：2017-07-07

申请人： 恩智浦美国有限公司

发明人： 蒂埃里·卡萨涅 ,  热拉尔·特劳赫 ,  马格丽特·莱斯莉·尼芬 ,  阿龙·A·盖斯贝格尔

IPC分类号： B81B7/00 ,  B81B7/02 ,  B81C3/00 ,  G01C19/5712

CPC分类号： G01C19/5726 ,  B81B2201/0285 ,  B81C1/00198 ,  B81C1/00246 ,  G01C19/5733 ,  G01C19/5755 ,  G01C19/5769

摘要： 一种集成装置包括例如陀螺仪等MEMS装置，所述MEMS装置具有与衬底间隔开的可移动块，所述可移动块被配置成相对于所述衬底在驱动方向上振荡。所述集成装置另外包括具有与MEMS装置耦合的表面的集成电路(IC)管芯，使得所述可移动块插入在所述衬底与所述IC管芯的所述表面之间。电极结构形成在所述IC芯片的所述表面上，所述电极结构包括与所述可移动块竖直间隔开的多个电极段。开口延伸穿过所述可移动块，并且所述电极段覆盖所述开口。可以激活适当选择的电极段以块朝向与MEMS竖直间隔开的感测电极静电吸引所述可移动块，以减少所述可移动块的正交运动。