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    偏航率传感器和用于运行偏航率传感器的方法
    3.
    发明授权
    偏航率传感器和用于运行偏航率传感器的方法 失效

    公开(公告)号：CN101903740B

    公开(公告)日：2013-03-27

    申请号：CN200880121428.4

    申请日：2008-11-10

    申请人： 罗伯特·博世有限公司

    发明人： J·克拉森 ,  S·格拉奇

    IPC分类号： G01C19/5755

    CPC分类号： G01C19/5755

    摘要： 本发明涉及一种具有衬底和第一科氏元件的偏航率传感器，其中，设有用于激励所述第一科氏元件在第一方向上振动的激励装置，其中，设有用于检测所述第一科氏元件在与所述第一方向基本上垂直的第三方向上的第一偏移的第一检测装置，其特点在于，所述第一科氏元件构造为等臂梁。

    用于检测旋转运动的至少一个转速的传感器装置
    4.
    发明公开
    用于检测旋转运动的至少一个转速的传感器装置 失效

    公开(公告)号：CN101970987A

    公开(公告)日：2011-02-09

    申请号：CN200980108522.0

    申请日：2009-03-11

    申请人： 大陆-特韦斯贸易合伙股份公司及两合公司

    发明人： B·施密德 ,  R·布格哈特 ,  J·黑梅尔 ,  O·西蒙 ,  R·希尔谢尔

    IPC分类号： G01C19/56

    CPC分类号： G01C19/56 ,  G01C19/5755

    摘要： 为了能特别经济地进行转速的冗余测量，本发明提出一种传感器装置，所述传感器装置包括双轴式第一转速传感元件，利用所述双轴式第一转速传感元件能检测传感器装置围绕第一转速测量轴线和第二转速测量轴线的旋转运动的转速，其中，所述第一转速测量轴线和第二转速测量轴线彼此垂直。所述传感器装置的特征在于，所述传感器装置包括至少一个另外的转速传感元件，利用所述另外的转速传感元件，能检测所述传感器装置围绕一与所述第一转速测量轴线和第二转速测量轴线位于一个平面中的转速测量轴线的旋转运动的转速。

    具有校正单元的科里奥利陀螺仪及减小90°相位差偏离的方法
    7.
    发明授权
    具有校正单元的科里奥利陀螺仪及减小90°相位差偏离的方法 有权

    公开(公告)号：CN102812330B

    公开(公告)日：2016-01-06

    申请号：CN201180007362.8

    申请日：2011-02-01

    申请人： 诺思路格鲁曼利特夫有限责任公司

    发明人： W·盖格 ,  P·莱因菲尔德

    IPC分类号： G01C19/5719

    CPC分类号： G01C19/5755

    摘要： 一种科里奥利陀螺仪(1)，包括可予以激发来平行于第一轴振荡的质量系统，从而可以检测该质量系统由于科里奥利力沿着垂直于第一轴设置的第二轴的偏移，并包括至少一个第一校正单元(30)以及至少一个第二校正单元(40)，第一和第二校正单元各自包括多个固定校正电极(31、32、41、42)和运动校正电极(24、25、26、27)，其中固定校正电极(31、32、41、42)在第一轴的方向延伸且通过相应的锚固结构(33，43)稳固地连接于基底，而运动校正电极(24、25、26、27)是形成质量系统的一部分。一种用于减小此种科里奥利陀螺仪(1)的90°相位差偏离的方法，包括施加至少暂时恒定的校正电压到校正单元(30、40)。

    振动陀螺仪元件及其制造方法
    8.
    发明授权
    振动陀螺仪元件及其制造方法 失效

    公开(公告)号：CN102246003B

    公开(公告)日：2015-09-09

    申请号：CN200980150142.3

    申请日：2009-12-08

    申请人： 株式会社村田制作所

    发明人： 米田年麿 ,  上林嗣治

    IPC分类号： G01C19/5755 ,  H01L41/08 ,  H01L41/047 ,  H01L41/332 ,  H01L41/187

    CPC分类号： G01C19/5755 ,  Y10T29/42

    摘要： 振动陀螺仪元件(1)包括压电基板(3)、上主面电极(2)、下主面电极(4)、以及支承基板(5)。压电基板(3)设置有内侧开放孔(31)和外侧开放孔(33)。内侧开放孔(31)使X-Y面上的框状区域(3B)的侧端面露出至框内。外侧开放孔(33)使框状区域(3B)的侧端面露出至框外。上主面电极(2)中的驱动检测电极(2A)与框状区域(3B)的上主面相接合，并和下主面电极(4)一起与框状区域(3B)在Z轴方向上的位移、和框状区域(3B)在与X-Y面平行的方向上的位移进行机电耦合。支承基板(5)确保框状区域(3B)的振动空间，并对压电基板(3)进行支承。振动空间防止框状区域(3B)与支承基板(5)发生干涉，并与内侧开放孔(31)及外侧开放孔(33)连通。

    一种用于检测加速度和旋转速度的方法及微机电传感器
    9.
    发明授权
    一种用于检测加速度和旋转速度的方法及微机电传感器 有权 转让

    公开(公告)号：CN102378895B

    公开(公告)日：2015-04-29

    申请号：CN201080014830.X

    申请日：2010-02-22

    申请人： 玛克西姆综合公司

    发明人： 亚历桑德鲁·罗基

    IPC分类号： G01C19/5747 ,  G01C19/5762 ,  G01P15/097 ,  G01P15/14 ,  G01P15/18

    CPC分类号： G01C19/574 ,  G01C19/5747 ,  G01C19/5755 ,  G01C19/5762 ,  G01P15/097 ,  G01P15/14 ,  G01P15/18

    摘要： 本发明涉及一种微机电传感器和一种用来检测加速度和旋转速度的方法，至少其中一个，尤其涉及借助微机电传感器（1）检测相互垂直的空间三轴X,Y和Z方向中的两个方向，其中微机电传感器包括移动安装在基板（2）上的至少一个驱动模块（6；6.1，6.2）和至少一个感应模块（5），至少一个驱动模块（6；6.1，6.2）相对于至少一个感应模块（5）以一个驱动频率作振动式运动，当传感器的外部加速度产生时，驱动模块（6；6.1，6.2）和感应模块（5）以一个加速度频率偏离，当传感器的外部旋转速度产生时，该驱动模块（6；6.1，6.2）和感应模块（5）以一个旋转速度频率偏离，该加速度频率和旋转速度频率是不同的。微机电传感器的驱动模块和感应模块通过至少一个固定部（3）固定安装在基板上。在驱动模式中，当驱动模块相对于至少一个固定部振动时，在驱动模块和感应模块之间相对于至少一个固定部产生一种不平衡，感应元件检测驱动模块和感应模块的偏离，要取决于以加速度频率和/或旋转速度产生的扭矩和科里奥利力（Coriolisforce）。

    摩擦纳米发电机和陀螺仪
    10.
    发明公开
    摩擦纳米发电机和陀螺仪 有权 转让

    公开(公告)号：CN103780126A

    公开(公告)日：2014-05-07

    申请号：CN201310109288.1

    申请日：2013-03-29

    申请人： 国家纳米科学中心

    发明人： 王中林

    IPC分类号： H02N1/04

    CPC分类号： H02N1/04 ,  G01C19/5755

    摘要： 本发明提供一种摩擦纳米发电机和应用该摩擦纳米发电机的陀螺仪，摩擦纳米发电机包括内芯和围绕内芯的外壳，内芯的外表面设置有若干个第一摩擦单元，所述外壳的内表面设置有若干个第二摩擦单元，第一摩擦单元的上表面面向所述第二摩擦单元的上表面或所述外壳的内表面；至少部分第一摩擦单元未与第二摩擦单元接触；在外力（冲击力）作用下，内芯相对于外壳可以往复运动，使至少一个第一摩擦单元的上表面与至少一个第二摩擦单元的上表面相互接触和分离，在所述第一导电单元与第二导电单元之间产生电信号。本发明的摩擦纳米发电机可以将震动、冲击、风力或海潮等产生的机械能量转化为电能，还可以作为二维或三维空间的自驱动陀螺仪。