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公开(公告)号：CN103134837A
公开(公告)日：2013-06-05
申请号：CN201210519639.1
申请日：2012-12-03
Applicant: 意法半导体亚太私人有限公司 , 意法半导体有限公司 , 意法半导体股份有限公司
IPC: G01N27/22
CPC classification number: G01N27/223
Abstract: 公开了一种具有集成加热器的可调湿度传感器。根据一个实施方式，一种电容式湿度传感器包括第一电极、湿度敏感电介质层以及第二电极。该湿度敏感电介质层位于所述第一电极和第二电极之间。该湿度敏感电介质层在选择的区域被刻蚀以在所述第一电极和所述第二电极之间形成中空区域。
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公开(公告)号：CN103134837B
公开(公告)日：2016-12-21
申请号：CN201210519639.1
申请日：2012-12-03
Applicant: 意法半导体亚太私人有限公司 , 意法半导体有限公司 , 意法半导体股份有限公司
IPC: G01N27/22
CPC classification number: G01N27/223
Abstract: 公开了一种具有集成加热器的可调湿度传感器。根据一个实施方式，一种电容式湿度传感器包括第一电极、湿度敏感电介质层以及第二电极。该湿度敏感电介质层位于所述第一电极和第二电极之间。该湿度敏感电介质层在选择的区域被刻蚀以在所述第一电极和所述第二电极之间形成中空区域。
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公开(公告)号：CN203241373U
公开(公告)日：2013-10-16
申请号：CN201220666618.8
申请日：2012-12-03
Applicant: 意法半导体亚太私人有限公司 , 意法半导体有限公司 , 意法半导体公司
IPC: G01N27/22
CPC classification number: G01N27/223
Abstract: 本实用新型公开了一种电子设备以及电容式湿度传感器。根据一个实施方式，一种电容式湿度传感器包括第一电极、湿度敏感电介质层以及第二电极。该湿度敏感电介质层位于所述第一电极和第二电极之间。该湿度敏感电介质层在选择的区域被刻蚀以在所述第一电极和所述第二电极之间形成中空区域。
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