集成多层磁阻传感器及其制造方法

    公开(公告)号:CN103543417B

    公开(公告)日:2018-01-30

    申请号:CN201310297959.1

    申请日:2013-07-11

    CPC classification number: G01R33/096 G01R33/0017 G01R33/0052 G01R33/0206

    Abstract: 本发明公开了一种磁场传感器,包括:芯片,包括具有第一表面和第二表面的衬底以及覆盖第一表面的绝缘层;第一磁阻器,延伸到绝缘层中并且具有主磁化轴线和副磁化轴线;第二磁阻器,延伸到绝缘层中并且具有主磁化轴线和副磁化轴线,第二磁阻器的主磁化轴线在横切于第一磁阻器的主磁化轴线的方向上延伸,并且第二磁阻器的副磁化轴线在横切于第一磁阻器的副磁化轴线的方向上延伸;第一磁场发生器,被配置为用于产生具有沿着第一磁阻器的主磁化轴线的场线的第一磁场;第二磁场发生器,被配置为用于产生具有沿着第二磁阻器的主磁化轴线的场线的第二磁场。第一磁阻器和第二磁阻器以距第一表面彼此不同的第一距离和第二距离分别延伸到绝缘层中。

    集成多层磁阻传感器及其制造方法

    公开(公告)号:CN107976645A

    公开(公告)日:2018-05-01

    申请号:CN201711395148.X

    申请日:2013-07-11

    Abstract: 本发明公开了一种磁场传感器,包括:芯片,包括具有第一表面和第二表面的衬底以及覆盖第一表面的绝缘层;第一磁阻器,延伸到绝缘层中并且具有主磁化轴线和副磁化轴线;第二磁阻器,延伸到绝缘层中并且具有主磁化轴线和副磁化轴线,第二磁阻器的主磁化轴线在横切于第一磁阻器的主磁化轴线的方向上延伸,并且第二磁阻器的副磁化轴线在横切于第一磁阻器的副磁化轴线的方向上延伸;第一磁场发生器,被配置为用于产生具有沿着第一磁阻器的主磁化轴线的场线的第一磁场;第二磁场发生器,被配置为用于产生具有沿着第二磁阻器的主磁化轴线的场线的第二磁场。第一磁阻器和第二磁阻器以距第一表面彼此不同的第一距离和第二距离分别延伸到绝缘层中。

    集成多层磁阻传感器及其制造方法

    公开(公告)号:CN107976645B

    公开(公告)日:2020-03-31

    申请号:CN201711395148.X

    申请日:2013-07-11

    Abstract: 本发明公开了一种磁场传感器,包括:芯片,包括具有第一表面和第二表面的衬底以及覆盖第一表面的绝缘层;第一磁阻器,延伸到绝缘层中并且具有主磁化轴线和副磁化轴线;第二磁阻器,延伸到绝缘层中并且具有主磁化轴线和副磁化轴线,第二磁阻器的主磁化轴线在横切于第一磁阻器的主磁化轴线的方向上延伸,并且第二磁阻器的副磁化轴线在横切于第一磁阻器的副磁化轴线的方向上延伸;第一磁场发生器,被配置为用于产生具有沿着第一磁阻器的主磁化轴线的场线的第一磁场;第二磁场发生器,被配置为用于产生具有沿着第二磁阻器的主磁化轴线的场线的第二磁场。第一磁阻器和第二磁阻器以距第一表面彼此不同的第一距离和第二距离分别延伸到绝缘层中。

    集成多层磁阻传感器及其制造方法

    公开(公告)号:CN103543417A

    公开(公告)日:2014-01-29

    申请号:CN201310297959.1

    申请日:2013-07-11

    CPC classification number: G01R33/096 G01R33/0017 G01R33/0052 G01R33/0206

    Abstract: 本发明公开了一种磁场传感器,包括:芯片,包括具有第一表面和第二表面的衬底以及覆盖第一表面的绝缘层;第一磁阻器,延伸到绝缘层中并且具有主磁化轴线和副磁化轴线;第二磁阻器,延伸到绝缘层中并且具有主磁化轴线和副磁化轴线,第二磁阻器的主磁化轴线在横切于第一磁阻器的主磁化轴线的方向上延伸,并且第二磁阻器的副磁化轴线在横切于第一磁阻器的副磁化轴线的方向上延伸;第一磁场发生器,被配置为用于产生具有沿着第一磁阻器的主磁化轴线的场线的第一磁场;第二磁场发生器,被配置为用于产生具有沿着第二磁阻器的主磁化轴线的场线的第二磁场。第一磁阻器和第二磁阻器以距第一表面彼此不同的第一距离和第二距离分别延伸到绝缘层中。

    半导体装置
    8.
    实用新型

    公开(公告)号:CN217544608U

    公开(公告)日:2022-10-04

    申请号:CN202220214158.9

    申请日:2022-01-26

    Abstract: 本公开的实施例涉及半导体装置。一种半导体装置,包括:支撑件,包括绝缘基板,绝缘基板具有:掩埋导电区域;第一裸片,固定到支撑件,第一裸片具有第一表面,第一表面具有电容耦合到掩埋导电区域的第一部分的第一裸片接触区域;第二裸片,固定至支撑件,第二裸片具有第一表面,第一表面具有第二裸片接触区域,第二裸片接触区域电容耦合至掩埋导电区域的第二部分;第一外部连接区域和第二外部连接区域,在第一方向上彼此间隔一定距离,掩埋导电区域位于第一外部连接区域和第二外部连接区域之间;绝缘材料。本公开的实施例有利地在分辨率、空间尺寸控制和对准方面具有优势。

    磁场传感器
    9.
    实用新型

    公开(公告)号:CN203519808U

    公开(公告)日:2014-04-02

    申请号:CN201320420963.8

    申请日:2013-07-11

    CPC classification number: G01R33/096 G01R33/0017 G01R33/0052 G01R33/0206

    Abstract: 本实用新型公开了一种磁场传感器,包括:芯片,包括具有第一表面和第二表面的衬底以及覆盖第一表面的绝缘层;第一磁阻器,延伸到绝缘层中并且具有主磁化轴线和副磁化轴线;第二磁阻器,延伸到绝缘层中并且具有主磁化轴线和副磁化轴线,第二磁阻器的主磁化轴线在横切于第一磁阻器的主磁化轴线的方向上延伸,并且第二磁阻器的副磁化轴线在横切于第一磁阻器的副磁化轴线的方向上延伸;第一磁场发生器,被配置为用于产生具有沿着第一磁阻器的主磁化轴线的场线的第一磁场;第二磁场发生器,被配置为用于产生具有沿着第二磁阻器的主磁化轴线的场线的第二磁场。第一磁阻器和第二磁阻器以距第一表面彼此不同的第一距离和第二距离分别延伸到绝缘层中。

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