一种用于曲面屏的贴合工装

    公开(公告)号:CN112002232B

    公开(公告)日:2022-08-16

    申请号:CN202010884369.9

    申请日:2020-08-28

    IPC分类号: G09F9/30

    摘要: 本发明公开一种用于曲面屏的贴合工装,包括:压头,其顶面的形状被配置为与曲面屏的保护玻璃的形状相适配;下治具,其内部形成有收容空间,所述收容空间的顶口敞开,所述压头位于所述顶口处;以及气囊,其位于所述收容空间内,所述气囊充气膨胀后与所述压头接触,并能够挤压所述压头。本发明的贴合工装利用气囊内气体压强均一的特性,使得气囊对压头的挤压力均匀分布,从而压头对保护玻璃的挤压力也均匀分布,即压头对保护玻璃的中央平面部和边缘弧形部的挤压力相同,一方面能够保证柔性显示面板与保护玻璃均匀贴合,另一方面也避免保护玻璃因受力不均而破损。

    一种湿法刻蚀排气系统及湿法刻蚀装置

    公开(公告)号:CN106876304A

    公开(公告)日:2017-06-20

    申请号:CN201710104091.7

    申请日:2017-02-24

    IPC分类号: H01L21/67

    摘要: 本发明公开了一种湿法刻蚀排气系统及湿法刻蚀装置,涉及湿法刻蚀技术领域,解决了现有湿法刻蚀设备的腔体的抽换气系统调节能力有限,无法在保证湿法刻蚀工艺需求的情况下,保证腔体内的压力平衡,从而导致挥发性酸性气体以及反应副产物气体泄漏到腔体外部,对技术人员造成伤害,对环境造成污染的技术问题。该湿法刻蚀排气系统包括:抽换气管道和罩在湿法刻蚀设备的腔体的腔门上的真空罩体;其中,抽换气管道与所述腔体相连,真空罩体与所述抽换气管道相连;抽换气管道通过第一阀控单元与腔体连通,抽换气管道通过第二阀控单元与所述真空罩体连通。本发明应用于湿法刻蚀。