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公开(公告)号：CN221522780U
公开(公告)日：2024-08-13
申请号：CN202420038725.9
申请日：2024-01-08
申请人： 捷造科技(宁波)有限公司
IPC分类号： C23C16/458 , H01L21/673
摘要： 本实用新型公开了一种新型PECVD子载板，包括：具有一定宽度的板条形成的外部闭合内部中空的载板框架，在所述载板框架的内部中空区域设置网状钨丝，该网状钨丝形成多个十字交叉扣形状，在所述载板框架的外部闭合的板条区域之内以一定间距设置多个放置空间，所述放置空间内安装弹簧张紧机构，所述弹簧张紧机构包括U型块，所述U型块的开口部位朝外，在所述U型块的中空区域夹设压簧，所述十字交叉扣形状的钨丝的出线部穿过所述压簧与所述板条的边缘进行固定。本实用新型的优点是，结构简单实现自动的张紧补偿，有效解决载板在传送机构之间过渡时的抖动，减少破片、崩边概率。
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公开(公告)号：CN220366822U
公开(公告)日：2024-01-19
申请号：CN202321773916.1
申请日：2023-07-07
申请人： 捷造科技(宁波)有限公司
IPC分类号： G01B21/30
摘要： 本实用新型公开了一种PECVD布气盒平面度检测装置，包括：支撑架，其悬挂在位于腔室上盖上的布气盒之下，在所述腔室上盖上与所述支撑架正交的方位设置直线导轨A，直线导轨A固定在腔体上盖基准面处，所述支撑架从上至下依次设置至少三组相互平行的定位组件，其中，在中间的定位组件中安装有多段相互连接的分轨，在上面的定位组件与下面的定位组件中分别安装多个调整组件，所述多段相互连接的分轨通过多个调整组件彼此进行对齐，以形成测量范围延长的一条直线导轨B，在直线导轨B上安装滑块，所述滑块通过安装片连接测距仪。本实用新型的优点是：采用无接触式测量，保证了气盒的完整性和密封性。避免了传统夹具易导致气盒二次变形的影响。
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公开(公告)号：CN220885328U
公开(公告)日：2024-05-03
申请号：CN202322558113.0
申请日：2023-09-20
申请人： 捷造科技(宁波)有限公司
摘要： 本实用新型公开了一种PECVD设备包装件运输用倾斜指示装置，包括：梳状本体，所述梳状本体具有方形起始部，在所述方形起始部的长边中央位置设置放入孔，所述方形起始部的对角线与所述长边的夹角为30°，以所述方形起始部的长边作为起始方向，在所述方形起始部的一侧依次设置第一支槽、第二支槽、第三支槽、第四支槽与第五支槽，所述第一支槽、第二支槽、第三支槽、第四支槽与第五支槽的槽内彼此联通以形成轻质滚珠运动的通路。本实用新型的优点是：解决现有技术中在搬运、运输及存储过程中，大型PECVD设备在长距离运输过程或者海运过程中发生倒置或倾斜的问题，对于因倒置而引起的故障，进行有效的记录。
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公开(公告)号：CN221553188U
公开(公告)日：2024-08-16
申请号：CN202420057222.6
申请日：2024-01-10
申请人： 捷造科技(宁波)有限公司
摘要： 本实用新型公开了一种吸盘式充电装置，包括：本体，所述本体背侧设置阵列式吸盘机构，所述阵列式吸盘机构包括数个均匀分布在所述本体背侧的吸盘，所述吸盘连接吸盘联动器，所述吸盘联动器能够根据所述本体与附着面的接触面积的大小选择将部分吸盘凸设于所述本体表面以与附着面吸附，剩下的部分吸盘内嵌于所述本体之中，所述本体的正侧设置有主光伏板，所述主光伏板左右两侧边均设置有枢轴，各枢轴上连接有附加光伏板，所述附加光伏板可绕所述枢轴转动并可折叠在所述主光伏板之上。本实用新型的优点是：平稳，可靠地吸附在附着物上，更好的调节光伏板的使用角度，便于增强光伏板接收光照的作用，实现更高效利用太能能发电，具有极高的实用性。
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