公开(公告)号：CN117249799A

公开(公告)日：2023-12-19

申请号：CN202310708783.8

申请日：2023-06-15

申请人： 捷造科技(宁波)有限公司

发明人： 程飞 ,  项飞 ,  葛贤明 ,  吴博

IPC分类号： G01B21/30

摘要： 本发明公开了一种PECVD电极平面度检测装置及使用方法，包括：支撑架，所述支撑架固定在工艺腔体上盖处，所述支撑架从上至下依次设置至少三组相互平行的定位组件，其中，在中间的定位组件中安装有多段相互连接的导轨，在上面的定位组件与下面的定位组件中分别安装多个调整组件，所述多段相互连接的导轨通过所述多个调整组件进行彼此对齐，以形成测量范围延长的一条直线导轨，在所述直线导轨的测量头位置安装滑块，所述滑块通过安装片连接下方的测距传感器，所述测距传感器利用滑块在直线导轨的运动从后架位置移动到前架位置进行检测。本发明的优点是：可以直线迅速测量电极的平面度，适应于批量测量，保证了电极的完整性和密封性。

公开(公告)号：CN220284214U

公开(公告)日：2024-01-02

申请号：CN202321773838.5

申请日：2023-07-07

申请人： 捷造科技(宁波)有限公司

发明人： 刘长见 ,  请求不公布姓名 ,  程飞 ,  吴博

IPC分类号： C23C16/458 ,  H01L31/20 ,  C23C16/50

摘要： 本实用新型公开了一种PECVD分区域双面镀膜载板，包括：至少一个放置单元，所述放置单元为钨丝十字交叉结构，所述钨丝十字交叉结构包括在外框之间嵌入拉紧的形成阵列排布的十字交叉型状的钨丝，用于放置承载件，所述钨丝通过张紧装置与所述外框进行紧固，所述放置单元的边缘上还设置孔洞式载板识别器。本实用新型的优点是：交叉式设计能有效地预防双面镀膜产生的边缘效应，解决由边缘效应导致的色差问题，提升生产良率与电池转换效率；有利于精准定位，实现自动化精准放片，提高子载板整体的可靠性能。

公开(公告)号：CN221522780U

公开(公告)日：2024-08-13

申请号：CN202420038725.9

申请日：2024-01-08

申请人： 捷造科技(宁波)有限公司

发明人： 张迎春 ,  刘长见 ,  王海龙 ,  吴博 ,  程飞

IPC分类号： C23C16/458 ,  H01L21/673

摘要： 本实用新型公开了一种新型PECVD子载板，包括：具有一定宽度的板条形成的外部闭合内部中空的载板框架，在所述载板框架的内部中空区域设置网状钨丝，该网状钨丝形成多个十字交叉扣形状，在所述载板框架的外部闭合的板条区域之内以一定间距设置多个放置空间，所述放置空间内安装弹簧张紧机构，所述弹簧张紧机构包括U型块，所述U型块的开口部位朝外，在所述U型块的中空区域夹设压簧，所述十字交叉扣形状的钨丝的出线部穿过所述压簧与所述板条的边缘进行固定。本实用新型的优点是，结构简单实现自动的张紧补偿，有效解决载板在传送机构之间过渡时的抖动，减少破片、崩边概率。

公开(公告)号：CN220270422U

公开(公告)日：2023-12-29

申请号：CN202321525105.X

申请日：2023-06-15

申请人： 捷造科技(宁波)有限公司

发明人： 程飞 ,  项飞 ,  葛贤明 ,  吴博

IPC分类号： G01B21/30

摘要： 本实用新型公开了一种PECVD电极平面度检测装置，包括：支撑架，所述支撑架固定在工艺腔体上盖处，所述支撑架从上至下依次设置至少三组相互平行的定位组件，其中，在中间的定位组件中安装有多段相互连接的导轨，在上面的定位组件与下面的定位组件中分别安装多个调整组件，所述多段相互连接的导轨通过所述多个调整组件进行彼此对齐，以形成测量范围延长的一条直线导轨，在所述直线导轨的测量头位置安装滑块，所述滑块通过安装片连接下方的测距传感器，所述测距传感器利用滑块在直线导轨的运动从后架位置移动到前架位置进行检测。本实用新型的优点是：可以直线迅速测量电极的平面度，适应于批量测量，保证了电极的完整性和密封性。