SiC单晶的制造方法和SiC单晶的制造装置

    公开(公告)号:CN107075726A

    公开(公告)日:2017-08-18

    申请号:CN201580056466.6

    申请日:2015-10-13

    CPC classification number: C30B19/062 C30B17/00 C30B19/04 C30B19/08 C30B29/36

    Abstract: 本发明提供即使在长时间地进行晶体生长的情况下也能够减少Si-C溶液的温度偏差的、SiC单晶的制造方法。本实施方式的SiC单晶的制造方法包括以下工序:准备工序,在该准备工序中,准备制造装置(100),该制造装置(100)包括容纳有Si-C溶液的原料的坩埚(7)、在下端安装有晶种(9)的晶种轴(41)、以及在中央具有供晶种轴(41)穿过的通孔(60A)且能够配置于坩埚(7)内的中盖(60);生成工序,在该生成工序中,对坩埚(7)内的原料进行加热而生成Si-C溶液(8);生长工序,在该生长工序中,使晶种(9)与Si-C溶液(8)相接触,从而在晶种(9)上制造SiC单晶;以及中盖调整工序,在生长工序中实施该中盖调整工序,使中盖(60)和坩埚(7)中的任一者相对于另一者在高度方向上相对移动,从而将中盖(60)与Si-C溶液(8)之间的高度方向距离的变动幅度调整到第1基准范围内。

    不锈钢和油井用不锈钢材

    公开(公告)号:CN107849661A

    公开(公告)日:2018-03-27

    申请号:CN201680042985.1

    申请日:2016-06-29

    Abstract: 本发明提供耐腐蚀性和低温韧性优异的不锈钢。不锈钢以质量%计含有Cr:15.5~18.0%,以满足式(1)的范围含有选自由Mo和W组成的组中的1种或2种。基体组织以体积率计具有:40~80%的回火马氏体相、10~50%的铁素体相和1~15%的奥氏体相。将以100倍的倍率拍摄基体组织而得到的显微组织图像配置于xy坐标系,以灰度表示1024×1024的各像素时,用式(2)定义的β为1.55以上。1.0≤Mo+0.5W≤3.5(1)此处,Mo、W是以质量%表示的Mo、W的含量。

    p型SiC单晶的制造方法
    3.
    发明公开

    公开(公告)号:CN107075723A

    公开(公告)日:2017-08-18

    申请号:CN201580048515.1

    申请日:2015-08-31

    CPC classification number: C30B17/00 C30B19/04 C30B29/36

    Abstract: 本实施方式的制造方法具备生成工序(S1)、第1生长工序(S2)、恢复工序(S3)和第2生长工序(S4)。生成工序(S1)中,在坩埚内生成含有Si、Al和C的Si‑C溶液。第1生长工序(S2)中,将籽晶轴下降,使安装于籽晶轴的下端的SiC晶种与Si‑C溶液接触后,使Al掺杂的p型SiC单晶在SiC晶种上生长。恢复工序(S3)中,在第1生长工序(S2)后,提高Si‑C溶液的Al浓度。第2生长工序(S4)中,在恢复工序(S3)后,使Al掺杂的p型SiC单晶继续生长。

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