公开(公告)号：CN102910633A

公开(公告)日：2013-02-06

申请号：CN201210412287.X

申请日：2012-10-25

申请人： 新特能源股份有限公司

发明人： 刘兴平 ,  崔建文 ,  陈国辉 ,  郑宝刚 ,  呼维军 ,  佟志强

IPC分类号： C01B33/107

摘要： 本发明公开了一种间隙式回收利用多晶硅生产中洗涤塔排放废液中氯硅烷的方法，是将将从多晶硅生产中产生的氯硅烷废液间歇式分地进入蒸发装置，通过控制蒸发器温度120℃-180℃，压力0.1-0.6MPa时，将沸点较低的三氯氢硅、四氯化硅蒸发成气态，然后送入精馏塔净化处理后回收再利用，同时提供了上述方法中所用的蒸发装置。本发明的有益效果为：本方法工艺简单，工艺条件易于实现，且操作方便；在生产过程中改善了多晶硅生产中氯硅烷废液的处理难题，最主要的是减少了残液的排放量，减少了氯硅烷的浪费，减少了碱液池的处理负荷和缓解了环境的污染问题，减少了人力劳动量，降低了生产成本，实现了氯硅烷的完全回收，防止了设备堵塞现象。

公开(公告)号：CN102910633B

公开(公告)日：2015-01-14

申请号：CN201210412287.X

申请日：2012-10-25

申请人： 新特能源股份有限公司

发明人： 刘兴平 ,  崔建文 ,  陈国辉 ,  郑宝刚 ,  呼维军 ,  佟志强

IPC分类号： C01B33/107

摘要： 本发明公开了一种间隙式回收利用多晶硅生产中洗涤塔排放废液中氯硅烷的方法，是将将从多晶硅生产中产生的氯硅烷废液间歇式分地进入蒸发装置，通过控制蒸发器温度120℃-180℃，压力0.1-0.6MPa时，将沸点较低的三氯氢硅、四氯化硅蒸发成气态，然后送入精馏塔净化处理后回收再利用，同时提供了上述方法中所用的蒸发装置。本发明的有益效果为：本方法工艺简单，工艺条件易于实现，且操作方便；在生产过程中改善了多晶硅生产中氯硅烷废液的处理难题，最主要的是减少了残液的排放量，减少了氯硅烷的浪费，减少了碱液池的处理负荷和缓解了环境的污染问题，减少了人力劳动量，降低了生产成本，实现了氯硅烷的完全回收，防止了设备堵塞现象。