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公开(公告)号:CN115838175B
公开(公告)日:2024-09-27
申请号:CN202211362206.X
申请日:2022-11-02
申请人: 新特能源股份有限公司 , 新特硅基新材料有限公司
IPC分类号: C01B33/107
摘要: 本发明提供一种去除氯硅烷中碳杂质的方法及系统,方法包括:将多晶硅生产过程中的含碳氯硅烷与还原尾气混合,以使二者中的物料进行反应,对反应后的混合物料进行冷凝,以使反应后的混合物料中的氯硅烷冷凝成液体,对冷凝产生的气体进行吸附,以去除其中的甲烷,对冷凝产生的液体进行精馏,以去除其中的甲基三氯硅烷。本发明在不需要催化剂和/或原料浓缩的前提下,利用还原尾气余热促进甲基二氯硅烷反应的进行,使其转化成更高沸点的甲基三氯硅烷和更低沸点的甲烷气体,不仅技术手段简单、而且能够提高三氯氢硅与甲基氯硅烷杂质的分离效率,降低分离能耗,同时也为还原尾气热能利用提供了新思路。
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公开(公告)号:CN115838175A
公开(公告)日:2023-03-24
申请号:CN202211362206.X
申请日:2022-11-02
申请人: 新特能源股份有限公司 , 新特硅基新材料有限公司
IPC分类号: C01B33/107
摘要: 本发明提供一种去除氯硅烷中碳杂质的方法及系统,方法包括:将多晶硅生产过程中的含碳氯硅烷与还原尾气混合,以使二者中的物料进行反应,对反应后的混合物料进行冷凝,以使反应后的混合物料中的氯硅烷冷凝成液体,对冷凝产生的气体进行吸附,以去除其中的甲烷,对冷凝产生的液体进行精馏,以去除其中的甲基三氯硅烷。本发明在不需要催化剂和/或原料浓缩的前提下,利用还原尾气余热促进甲基二氯硅烷反应的进行,使其转化成更高沸点的甲基三氯硅烷和更低沸点的甲烷气体,不仅技术手段简单、而且能够提高三氯氢硅与甲基氯硅烷杂质的分离效率,降低分离能耗,同时也为还原尾气热能利用提供了新思路。
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公开(公告)号:CN117861616A
公开(公告)日:2024-04-12
申请号:CN202311692289.3
申请日:2023-12-08
申请人: 新特能源股份有限公司 , 新疆新特晶体硅高科技有限公司
摘要: 本发明公开一种用于氯硅烷提纯的吸附剂、方法及系统,该吸附剂包括功能化活性炭吸附剂、有机基团功能化介孔分子筛吸附剂以及功能基团改性多壁碳纳米管吸附剂,功能化活性炭吸附剂为包含咪唑基或苄基或酮肟基的改性活性炭中的一种或多种;有机基团功能化介孔分子筛吸附剂为包含氯苯基或偕氨肟基或咯嗪基的改性介孔分子筛中的一种或多种;功能基团改性多壁碳纳米管吸附剂为包含肼基或偕双腈基或喹啉基的改性多壁碳纳米管中的一种或多种。本发明的吸附剂比表面积大、选择性强,可以有效去除氯硅烷中的磷杂质、硼杂质以及金属杂质,相比于传统技术,可以避免树脂吸附剂洁净度无法有效控制、成本高、存在热分解风险等问题。
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