氮化炉控制装置及系统
    2.
    实用新型

    公开(公告)号:CN218089756U

    公开(公告)日:2022-12-20

    申请号:CN202222694836.9

    申请日:2022-10-11

    Abstract: 本实用新型提供了一种氮化炉控制装置及系统。所述氮化炉控制装置包括:控制器;压力传感器和温度控制器,压力传感器和温度控制器设置于氮化炉,压力传感器和温度控制器分别通过RS485总线与控制器连接;流量控制器,流量控制器设置于与氮化炉连通的气体输入管道,流量控制器通过RS485总线与控制器连接;控制器用于接收压力传感器的压力检测信号,向流量控制器传递流量控制信号,以及用于接收温度控制器的温度检测信号,向温度控制器传递温度控制信号。本实用新型的方案通过RS485总线的可靠通讯,可以实时、精准地控制输入氮化炉的气体流量和生产工艺需要的不同温度,从而实现氮化硅制粉过程的自动化控制。

    料盘装置和具有其的反应炉装置

    公开(公告)号:CN220583114U

    公开(公告)日:2024-03-12

    申请号:CN202322283395.8

    申请日:2023-08-24

    Abstract: 本实用新型公开了一种料盘装置和具有其的反应炉装置,用于放置在反应炉内以承载物料,所述反应炉的底部设有转轴,所述料盘装置包括:支架,所述支架的下端设有连接部以用于与所述转轴固定连接,所述支架上设有滑动支座,所述滑动支座上设有多个间隔设置的滚动体;至少一个料盘,所述料盘的底壁设置于所述滚动体上,所述滚动体位于所述滑动支座与所述料盘之间,所述料盘相对于所述滚动体可移动。根据本实用新型实施例的料盘装置,通过转轴转动支架,能够带动硅粉颗粒抖动,使料盘上的硅粉反应均匀和充分,同时能够均匀温场和流场,提高反应效率,改善氮化硅粉的质量。

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