一种集散式控制系统
    2.
    实用新型

    公开(公告)号:CN218003980U

    公开(公告)日:2022-12-09

    申请号:CN202222566575.2

    申请日:2022-09-27

    Abstract: 本实用新型提供了一种集散式控制系统,包括:至少一个I/O从站,每一个所述I/O从站分别对应一个氮化炉;与所述至少一个I/O从站分别连接的主站;其中,所述主站传递工艺控制指令给所述I/O从站。本实用新型提供的集散式控制系统采用一主站多I/O从站的集散式控制,通过主站传递工艺控制指令给各I/O从站(独立的氮化炉),独立的I/O从站根据主站工艺控制指令完成自身设备的自动化控制,解决了单台设备无法实现精细化工艺控制的问题,提高了生产效率和产品质量。

    氮化炉控制装置及系统
    4.
    实用新型

    公开(公告)号:CN218089756U

    公开(公告)日:2022-12-20

    申请号:CN202222694836.9

    申请日:2022-10-11

    Abstract: 本实用新型提供了一种氮化炉控制装置及系统。所述氮化炉控制装置包括:控制器;压力传感器和温度控制器,压力传感器和温度控制器设置于氮化炉,压力传感器和温度控制器分别通过RS485总线与控制器连接;流量控制器,流量控制器设置于与氮化炉连通的气体输入管道,流量控制器通过RS485总线与控制器连接;控制器用于接收压力传感器的压力检测信号,向流量控制器传递流量控制信号,以及用于接收温度控制器的温度检测信号,向温度控制器传递温度控制信号。本实用新型的方案通过RS485总线的可靠通讯,可以实时、精准地控制输入氮化炉的气体流量和生产工艺需要的不同温度,从而实现氮化硅制粉过程的自动化控制。

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