面发光型半导体激光器及其制造方法

    公开(公告)号:CN102447220A

    公开(公告)日:2012-05-09

    申请号:CN201010506998.4

    申请日:2010-09-30

    发明人: 玉贯岳正

    IPC分类号: H01S5/183 H01S5/06 H01S5/20

    摘要: 提供一种可高速变频且可稳定地控制激光偏振方向的面发光型半导体激光器。具有由半导体基板,形成在该半导体基板上方的下部镜面层,形成在该下部镜面层上方的活性层,形成在该活性层上方的含氧化层的上部镜面层顺次层积,且在高度方向上特定的位置往上方有一部分形成台面状的共振器;覆盖所述共振器台面部的侧面及该共振器的非台面部上方的绝缘层;各自配线在所述上部镜面层的上方及所述半导体基板的下方的各电极。形成在所述共振器的所述台面部侧面的所述绝缘层的一部分的厚度,沿着该台面部的高度方向同等地比其他部分更厚。