磁头的测量方法及其测量装置

    公开(公告)号:CN103093763A

    公开(公告)日:2013-05-08

    申请号:CN201110344950.2

    申请日:2011-11-04

    IPC分类号: G11B5/455

    摘要: 本发明公开一种磁头的测量方法,包括:(a)将所述磁头放置于正常位置,定义第一方向和第二方向,第一方向平行于磁头的空气承载面和两屏蔽层,第二方向垂直于空气承载面;(b)倾斜磁头以使其与第二方向成一角度,以第一方向向磁头施加多个不同强度的第一磁场,并测量出第一输出参数曲线;(c)以不同角度重复步骤(b),并测量出多个第一输出参数曲线;(d)根据多个第一输出参数曲线计算磁头的被钉扎层的被钉扎方向从第二方向倾斜的多个被钉扎方向倾斜率;以及(e)根据多个被钉扎方向倾斜率计算被钉扎层从第二方向倾斜的被钉扎方向倾斜角。本发明有利于磁头制造商掌握磁头的性能。

    磁头滑块的加工测试方法、加工测试监控装置及加工设备

    公开(公告)号:CN107808675A

    公开(公告)日:2018-03-16

    申请号:CN201610814757.3

    申请日:2016-09-09

    IPC分类号: G11B5/127 G05B15/02

    CPC分类号: G11B5/127 G05B15/02

    摘要: 本发明申请公开了一种磁头滑块的加工测试方法、加工测试监控装置及加工设备,所述磁头滑块的加工测试方法包括:提供至少一个应力传感器于晶圆中,以及提供控制装置与所述应力传感器连接;利用加工装置将所述晶圆加工成磁头滑块,所述控制装置在磁头滑块加工过程中监控所述应力传感器的性能参数以确定当前加工参数是否合适,并在当前加工参数不合规格时,向所述加工装置发出调整信号,所述加工装置根据所述调整信号调整加工参数。本发明申请可以实时监控磁头滑块的加工测试,从而更有效方便地对磁头滑块进行加工测试。

    测量隧道磁电阻传感器中纵向偏磁场的方法

    公开(公告)号:CN102707246A

    公开(公告)日:2012-10-03

    申请号:CN201110074459.2

    申请日:2011-03-28

    IPC分类号: G01R33/09

    CPC分类号: G01R33/098

    摘要: 本发明公开了一种测量磁头的隧道磁电阻传感器中的纵向偏磁场的方法,其包括以下步骤:施加一外部纵向时变磁场到隧道磁电阻传感器,该外部纵向时变磁场的方向与纵向偏磁场的方向相反;在外部纵向时变磁场的应用下,确定隧道磁电阻传感器的衬底饱和值;施加一外部横向时变磁场到隧道磁电阻传感器,该外部横向时变磁场的方向与纵向偏磁场的方向相垂直;施加一外部纵向直流磁场到隧道磁电阻传感器,该外部纵向直流磁场的方向与纵向偏磁场的方向相反;在外部纵向直流磁场的不同场强值及外部横向时变磁场的应用下,确定复数个不同输出振幅;根据不同输出振幅和不同场强值描绘出一曲线图;及根据所述曲线图及所述衬底饱和值确定纵向偏磁场的强度。